磷原子在金刚石(001)表面吸附和迁移的第一性原理研究

论文摘要

采用第一性原理计算方法对磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为进行了系统研究.结果表明:在全氢终止金刚石(001)表面上,磷原子不能够稳定吸附.当氢终止表面上出现1个、2个活性位时,磷原子可以在活性位处稳定吸附,吸附能为2. 8至4. 5 eV.分波态密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成对电子,保持化学活性,有利于后续沉积粒子的吸附.当氢终止表面上出现3个活性位时,磷原子可以在活性位处吸附,并且可以在活性位之间迁移.迁移激活能小于1. 7 eV.综上所述,磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为与表面上活性位的数量和分布密切相关.

论文目录

• 1 计算方法
• 2 结果和讨论
•   2.1 在全氢终止金刚石 （001） 表面
•   2.2 在1ORS的表面
•   2.3 在2ORS的表面
•   2.4 在3ORS的表面
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘学杰,曹晔

关键词: 第一性原理,磷掺杂金刚石,迁移激活能,吸附和迁移

来源: 内蒙古科技大学学报 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 化学

单位: 内蒙古科技大学机械工程学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(51562031,61765012),内蒙古自治区自然科学基金资助项目(2014MS0516)

分类号: O647.3

DOI: 10.16559/j.cnki.2095-2295.2019.02.007

页码: 131-138

总页数: 8

文件大小: 1502K

下载量: 151