基于响应曲面法与改进非支配遗传算法电火花线切割单晶硅工艺优化

论文摘要

单晶硅加工过程中追求切削效率与表面质量既可以提高晶圆自身品质又可以降低生产成本。通过响应曲面法（RSM）建立关于输入参数电压、脉宽、脉间、线锯速度与工艺结果的二阶模型,方差分析表明模型方程可行性。运用改进非支配遗传算法（NSGA-II）对加工工艺进行优化可以得到一组关于工艺结果的非支配解,这些非支配解可以满足不同条件下工程加工者的需要。进行相应实验验证非支配解可行。

论文目录

• 引言
• 1 电火花线切割目标模型的建立
•   1.1 响应曲面法建立目标模型
•   1.2 RSM实验设计与目标方程拟合
• 2 基于NSGA-II的多目标优化
•   2.1 NSGA-II运算流程
•   2.2 目标函数的优化
• 3 Pareto非支配前沿解的实验验证及分析
•   3.1 设计验证实验
•   3.2 实验验证Pareto非支配前沿解
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈玉龙,李淑娟,卜文浩,王馨翊

关键词: 电火花线切割,单晶硅,响应曲面法

来源: 机械强度 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学,无机化工

单位: 西安理工大学机械与精密仪器工程学院

基金: 国家自然科学基金项目(51575442)资助~~

分类号: TQ127.2;O786

DOI: 10.16579/j.issn.1001.9669.2019.01.017

页码: 98-103

总页数: 6

文件大小: 469K

下载量: 222