氯化亚铜对多晶硅冷氢化技术中三氯氢硅收率的影响

论文摘要

提高冷氢化技术中三氯氢硅的收率是多晶硅生产以及有机硅行业急需解决的技术难题。在对工艺装置的温度、压力等技术参数基本达到最优的情况下,添加催化剂成为提高冷氢化三氯氢硅收率的一项重要措施。在反复比选并调研其他企业的铜基催化剂、镍基催化剂、镍铜催化剂使用情况后,本实验选用CuCl作为催化剂,通过并行考察两套相同配置的生产装置中有无催化剂的对比实验,验证了氯化亚铜催化剂可以提高冷氢化三氯氢硅收率,在反应器中采用氯化亚铜催化剂将三氯氢硅的体积百分收率从24%提高至约30%。

论文目录

• 1 多晶硅冷氢化反应机理与热力学分析
• 2 催化剂的选型
• 3 铜基催化剂的应用
• 4 实验部分
•   4.1 实验工艺流程
•   4.2 实验主要设备及实验过程
•   4.3 实验结果
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 毕明锋

关键词: 多晶硅,冷氢化技术,三氯氢硅,四氯化硅,氯化亚铜

来源: 化学反应工程与工艺 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 国电内蒙古晶阳能源有限公司

分类号: TQ127.2

页码: 524-528

总页数: 5

文件大小: 465K