Print

反应物浓度诱导CVD SiC结构的转变

论文摘要

利用低密度的C/C复合材料为沉积基体,通过化学气相沉积法制备气相生长SiC,分析并研究了不同沉积位置和反应物浓度下气相生长SiC的微观形貌和物相组成.结果表明,随着反应物气体浓度的降低,多孔C/C复合材料基体上气相生长的SiC的微观结构呈区域性变化,SiC薄膜依次向SiC薄膜和颗粒、SiC短棒、SiC纳米线转变.探讨了不同反应物浓度气氛中过饱和度诱导原子迁移和气相分子吸附的过程,并提出一个SiC的生长模型.

论文目录

  • 1 试验部分
  •   1.1 材料制备
  •   1.2 仪器
  • 2 试验结果与讨论
  •   2.1 显微结构分析
  •   2.2 沉积模型分析
  • 3 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 黄东,王昊,何雨恬,王秀连,刘桦,邓畅光,林松盛,张明瑜

    关键词: 微观结构

    来源: 材料研究与应用 2019年02期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 湖南东映碳材料科技有限公司高性能沥青基碳纤维湖南省工程研究中心,中南大学粉末冶金国家重点实验室,广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室

    基金: 湖南省创新创业投资项目(2018GK5065),广东省科技计划项目(2017A070701027,2017A070702016,2014B070705007),广东省科学院创新能力建设项目(2017GDASCX-0111,2017GDASCX-0202,2018GDASCX-0111,2018GDASCX-0402,2019GDASYL-0402004),广东省科学院创新人才引进资助项目(2018GDASCX-0948),中国航发创新基金(ZGHF-ZL-2017-C068)

    分类号: TQ163.4

    页码: 90-95

    总页数: 6

    文件大小: 2697K

    下载量: 54

    相关论文文献

    本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/c685973b568b422d8ccb963d.html