高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究

论文摘要

采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲击波。估算了3种冲击波的波速,进而分析了可会受冲击波影响的重复频率。研究成果可以为高重复频率准分子放电腔的设计提供支持,尤其是可以在放电冲击波抑制结构的设计方面提供支持。

论文目录

• 1 引 言
• 2 理论分析与控制方程
• 3 实验原理及装置
•   3.1 观测原理
•   3.2 实验装置
• 4 结果及分析
•   4.1 冲击波产生及演化过程
•     1) 热气团的产生与清扫
•     2) 横向冲击波的发展过程
•     3) 电极间纵向冲击波的发展过程
•     4) 预电离冲击波的发展过程
•   4.2 冲击波波速的计算
•   4.3 冲击波影响的重复频率分析
• 5 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘斌,丁金滨,王魁波,周翊,江锐,王宇

关键词: 激光光学,准分子激光器,高重复频率,放电腔,放电冲击波,阴影法

来源: 中国激光 2019年12期

年度: 2019

分类: 基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 中国科学院微电子研究所,中国科学院大学

基金: 国家科技重大专项(2013ZX02202002)

分类号: TN248

页码: 26-33

总页数: 8

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