本实用新型公开了一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，首先将衬底放在衬底卡盘中，调节Y轴位移平台及X‑Z轴位移平台使衬底移动到模板正下方，再控制X‑Z轴位移平台使压印装置向下运动，直至压印装置与衬底微接触，控制X‑Z轴位移平台进行压印，在压印同时使用Z向振动平台对衬底施加Z向振动，然后利用冷却装置对衬底进行冷却固化，最后用揭开式振动辅助的方法进行脱模，本实用新型采用Z向振动平台带动衬底进行压印，提高模板空腔的填充率与微纳图案的分辨率；采用吸气泵及多个独立封闭通道在脱模时实现揭开式脱模，在模板在与衬底逐渐分离的同时进行振动辅助，减小模板与压印胶间的粘附力，从而减少脱模时对模板造成的损伤与毁坏，延长模板的使用寿命。
申请码:申请号:CN201921067351.9
申请日:2019-07-10
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:82(吉林)
授权编号:CN209879251U
授权时间:20191231
主分类号:G03F7/00
专利分类号:G03F7/00
范畴分类:申请人:长春工业大学
第一申请人:长春工业大学
申请人地址:130012 吉林省长春市延安大街2055号
发明人:谷岩;康洺硕;徐宏宇;陈斯;冯开拓;颜家瑄;李先耀;张昭杰;徐贞潘;易正发;戴得恩;段星鑫;卢发祥;刘骜;辛成磊
第一发明人:谷岩
当前权利人:长春工业大学
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/bdb3cb5ddcb4cfb1fcb54d01.html