导读:本文包含了法玻腔论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光谱分析,薄膜,论文,FP,Bragg,法玻腔。
刘舒扬,周涛,贾晓东,崔虎山,黄成军[1]（2015）在《关于基于布拉格镜法玻腔单片集成的光谱分析微传感器的研究》一文中研究指出为了打破限制光谱分析系统的低速,高成本和大体积的缺点,本文介绍了一种基于CMOS工艺的单片集成的光谱微系统架构。该系统将光谱分光元件,光电传感器和基本的读出电路利用成熟的半导体工艺实现单片集成,因而可以从系统架构上为光谱分析系统的速度,体积和成本等方面的性能提升起到作用。本文从干涉薄膜的原理入手,设计并模拟了其分光特性,结果表明这样的一种与CMOS工艺相兼容的薄膜设计可以有效的对于光谱进行滤光并达到2nm的光谱分辨率,因此为单片集成的方式实现微型光谱系统的理念进行了理论可行性的论证。(本文来源于《第七届高性能特种光学薄膜技术及应用学术研讨会论文集》期刊2015-11-18）
[1].刘舒扬,周涛,贾晓东,崔虎山,黄成军.关于基于布拉格镜法玻腔单片集成的光谱分析微传感器的研究[C].第七届高性能特种光学薄膜技术及应用学术研讨会论文集.2015
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