感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况。分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×103 Pa延伸到同心圆结构的1.2×104 Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1～800 Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9%,灵敏度为10.1 fF·Pa–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1～8 000 Pa区间内的非线性度为3.6%,灵敏度为1.3 fF·Pa–1。
类型: 期刊论文
作者: 王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君,李刚
关键词: 电容薄膜真空规,高灵敏度,宽测量范围
来源: 中国测试 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学
专业: 物理学,工业通用技术及设备
单位: 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
基金: 国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805),五院CAST基金项目
分类号: O484
页码: 88-93
总页数: 6
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本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/b003a992a0e3febd1ef3f202.html