电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。
类型: 期刊论文
作者: 潘桂玲
关键词: 扫描电镜,真空系统,油扩散泵,机械泵,真空油,维护
来源: 真空科学与技术学报 2019年09期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 南开大学化学学院功能高分子材料教育部重点实验室
基金: 国家973计划资助项目(No.2015CB251100)
分类号: TH74
DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.12
页码: 811-814
总页数: 4
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