本实用新型涉及半导体器件芯片制造技术领域，公开了一种蒸发台坩埚装置及蒸发台系统，具体的，蒸发台坩埚装置包括基板、两坩埚磁极臂、挡板驱动器、挡板驱动器固定架、两电子枪保护组件以及坩埚；两电子枪保护组件分别设置在坩埚的第一端的两侧，挡板驱动器固定架设置在坩埚的第二端，挡板驱动器设置在挡板驱动器固定架远离所述坩埚的一端；基板上设置有电子枪固定组件，电子枪固定组件用于固定电子枪，坩埚的置物孔的口径为40mm‑80mm。本实用新型能够在蒸发过程中提升速率，减少崩源，延长坩埚使用寿命，提升产品质量，提高产能。
1.一种蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置包括基板、两个坩埚磁极臂、挡板驱动器、挡板驱动器固定架、两个电子枪保护组件以及坩埚；两个所述坩埚磁极臂分别连接设置在所述基板的两侧，在所述基板的上方，两个所述坩埚磁极臂之间形成容置所述坩埚的空隙，所述坩埚支撑设置在所述两个坩埚磁极臂上；两个所述电子枪保护组件分别设置在所述坩埚的第一端的两侧，所述挡板驱动器固定架设置在所述坩埚的第二端，所述挡板驱动器设置在所述挡板驱动器固定架远离所述坩埚的一端；所述基板上设置有电子枪固定组件，所述电子枪固定组件用于固定电子枪，所述坩埚的置物孔的口径为40mm-80mm。
申请码:申请号:CN201920305346.0
申请日:2019-03-11
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:22(吉林)
授权编号:CN209602629U
授权时间:20191108
主分类号:C23C 14/30
专利分类号:C23C14/30
范畴分类:25F;
申请人:吉林华微电子股份有限公司
第一申请人:吉林华微电子股份有限公司
申请人地址:132013 吉林省吉林市高新区深圳街99号
发明人:邵旭;王志达;袁守良
第一发明人:邵旭
当前权利人:吉林华微电子股份有限公司
代理人:肖苏宸
代理机构:11371
代理机构编号:北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙）
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/a9fc176c6a158bea069fcfd9.html