直线电机在半导体设备中的典型应用分析

论文摘要

随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。

论文目录

• 1 直线电机基本结构和原理
•   1.1 平板电机
•   1.2 U型电机
• 2 应用案例分析
•   2.1 平板电机
•   2.2 U型电机
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 赵立华,谭立杰,黄卫国,石艺楠,张永昌

关键词: 直线电机,半导体设备,原理,应用分析

来源: 电子工业专用设备 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 电力工业,无线电电子学

单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所

分类号: TM359.4;TN305

页码: 16-19

总页数: 4

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