采用真空热压烧结法制备稀土掺杂NiCrSi高阻合金靶材。利用X射线衍射仪、金相显微镜、扫描电镜、EDS能谱仪等表征手段测试分析靶材物相组成、显微组织及微区元素分布。同时将所制备靶材溅射沉积金属膜电阻器,研究稀土元素掺入种类对电阻器阻值稳定性的影响。结果表明,稀土掺杂NiCrSi高阻靶材由基体相CrSi2和少量的CrSi、Ni3Si相混合而成。靶材外观平整无裂纹,组织致密无孔隙,相对密度均在96%以上;晶粒尺寸约为20μm,大小分布均匀。掺入La、Ce、Pr、Nd后,靶材组织中Zr析出相减少,Zr元素偏聚分布得到显著改善。溅射沉积的金属膜电阻器电阻温度系数小于±25×10-6/℃;与未添加稀土元素的NiCrSi电阻器相比,加入Pr后,电阻器电阻温度系数在高低温区差值降至22×10-6/℃左右,变化幅度小,阻值稳定性高;加入Nd后,电阻温度系数差值变化幅度大,阻值稳定性较差。
类型: 期刊论文
作者: 鲁飞,刘树峰,李慧,刘小鱼,李静雅,孙良成
关键词: 高阻靶材,稀土,热压烧结,金属膜电阻器
来源: 稀土 2019年04期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 包头稀土研究院白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室,稀土冶金及功能材料国家工程研究中心
基金: 包头科技局项目(2014X1008)
分类号: TG174.4
DOI: 10.16533/J.CNKI.15-1099/TF.201904011
页码: 87-94
总页数: 8
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本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/a3612203cf9fba8f1c8dfb6c.html