微机械陀螺冲击特性及可靠性研究

论文摘要

为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当脉宽对应的冲击频率与陀螺固有频率越接近,并且陀螺品质因子和冲击加速度幅值越大时,则冲击带来的影响就越大,梁越容易发生断裂失效。因此要使MEMS陀螺具有较强的抗冲击能力,必须综合优化设计陀螺的真空度和固有频率。

论文目录

• 1 微机械陀螺冲击响应特性分析
• 2 冲击仿真分析
• 3 冲击试验方案
• 4 冲击试验分析
•   4.1 变幅度冲击测试
•   4.2 变阻尼冲击测试
•   4.3 变脉宽冲击测试
• 5 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 何春华,赵前程,杨振川,张大成,闫桂珍

关键词: 微机械陀螺,冲击可靠性,响应模型,冲击特性

来源: 传感技术学报 2019年05期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,美的集团

分类号: TH824.3

页码: 643-648

总页数: 6

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