薄膜热电偶的研究进展

论文摘要

现代科学技术对各种场合下局域温度的准确测量提出了新的要求,极大地促进了温度传感器的发展。薄膜热电偶因具有无源、响应时间短、精确度高以及对测试环境几乎无影响等优点,在温度测量领域具有广阔的应用前景。对薄膜热电偶近年来的研究进展与热点进行了综述。首先简单介绍了以不同材料为基底时,薄膜热电偶的结构。然后分别介绍了应用于航空发动机热端部件高温测量的金属合金类、陶瓷类和复合类薄膜热电偶及其常用的电极材料。讨论了薄膜厚度、退火处理、电极薄膜类型、气氛和掺杂等工艺对薄膜热电偶热电势、Seebeck系数、耐高温能力和电极材料微观结构等方面的影响,将近年来的典型研究成果进行了汇总,并阐述了陶瓷类薄膜热电偶应用于航空发动机中温度监测的优势。此外,分析讨论了应用于局域二维温度场测量的阵列型薄膜热电偶的发展、结构优化设计、制备工艺研究与改进以及实际测温场合中的布局。最后,对薄膜热电偶在相关应用领域的研究和发展方向进行了展望。

论文目录

• 1 薄膜热电偶的结构
• 2 应用于航空发动机中高温测量的薄膜热电偶
•   2.1 金属及合金类
•   2.2 陶瓷类
•   2.3 复合类
• 3 阵列型薄膜热电偶
• 4 总结与展望

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王伟超,张军战,张颖,杨迪

关键词: 薄膜热电偶,温度测量,热电势,系数

来源: 表面技术 2019年10期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所

分类号: TH811

DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.10.017

页码: 139-147

总页数: 9

文件大小: 2031K

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