高精度微流体多参数液压油检测芯片设计

论文摘要

在液压系统中,金属磨粒是影响液压系统正常运转的一个重要指标。所介绍的芯片是一种环形流道,基于电感电容原理的微流体油液金属颗粒计数器,当液压油中的磨粒、气泡和水滴流经空间微螺线管时引起了磁通量变化或介电常数的变化。用电感检测方法,在2 MHz的激励频率下使用27匝线圈能检测到30μm铁颗粒和110μm铜颗粒;用电容检测方法在1.3 MHz的激励频率下能检测到100μm的水滴和180μm的气泡。铁的检测精度明显提高,其余在原有的检测精度基础上提高了信噪比,同时增大了流道直径,检测液压油的通量变大,提高了检测颗粒的效率。改进后的芯片具有良好的实际应用价值与广阔的发展前景。

论文目录

• 0 引 言
• 1 检测芯片的设计和检测原理
•   1.1 电感法检测原理
•   1.2 线圈的互感理论分析
•   1.3 电容法检测原理
• 2 检测芯片的制作和检测系统的搭建
•   2.1 检测芯片的制作
•   2.2 检测系统的搭建
• 3 实验验证
• 4 实验结果及分析
•   4.1 电感检测
•   4.2 电感检测
• 5 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 孙广涛,张洪朋,顾长智,白晨朝,曽霖

关键词: 微流体芯片,颗粒检测,液压油,环形流道

来源: 仪器仪表学报 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 大连海事大学轮机工程学院

基金: 国家自然科学基金(51679022,51879020),中央高校基本科研业务费专项资金(3132017013)项目资助

分类号: TH73

DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J1804317

页码: 59-66

总页数: 8

文件大小: 360K

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