本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动扩散装卸片机。该装卸片机包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸，所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池，三轴机械手的移动端固定有吸盘组，花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮。本实用新型通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。
申请码:申请号:CN201921072553.2
申请日:2019-07-10
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209880555U
授权时间:20191231
主分类号:H01L21/67
专利分类号:H01L21/67;H01L21/677
范畴分类:38F;
申请人:苏州璞智自动化科技有限公司
第一申请人:苏州璞智自动化科技有限公司
申请人地址:215000 江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组
发明人:向永富
第一发明人:向永富
当前权利人:苏州璞智自动化科技有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/8adfa059c11c14f90b9cba2f.html