相衬光学显微镜中相衬板的研制

论文摘要

基于Zernike相衬法原理和相衬板设计理论,利用金属材料Ag具有宽角度消偏振的特性,设计一种低偏振效应的移相膜。采用光刻及镀膜法,研制了可用于相衬显微镜中的新型结构相衬板。通过控制介质膜和金属膜的物理厚度,分别调节相衬板的相位和透过率,提高相衬度;通过优化光刻及制备薄膜的工艺参数,得到高质量的圆环结构。最终获得振幅透过率为18.03%,相移量为0.49π的相衬板。

论文目录

• 1 引 言
• 2 相衬板的设计理论
• 3 相衬板的设计
•   3.1 材料的选取
•   3.2 相衬板结构及膜层设计
• 4 相衬板的制备
•   4.1 光 刻
•   4.2 薄膜制备
• 5 测试与分析
•   5.1 移相膜光谱透过率及牢固度测试
•   5.2 相位测试
•   5.3 相衬显微系统测试
• 6 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘冬梅,曹洪玉,付秀华,张静,刘文成,濮继虎

关键词: 薄膜,相衬板,光刻工艺,相位

来源: 光学学报 2019年11期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 长春理工大学光电工程学院,丹阳丹耀光学有限公司

基金: 吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)

分类号: TH742

页码: 388-395

总页数: 8

文件大小: 2881K

下载量: 101