Si和C的存在形态对TiSiCN薄膜微观结构与性能的影响

论文摘要

为扩展Ti Al N和Ti CN薄膜的应用,以适应高速切削和绿色干式切削加工技术发展趋势和要求,采用工业化多弧离子镀在工业用钢H13表面制备Ti SiCN硬质薄膜,以改善H13钢的力学和摩擦学性能。借助扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、维氏显微硬度计、摩擦磨损仪研究了Si和C的存在形态及其对Ti SiCN薄膜的微观形貌、微观结构、硬度和摩擦磨损性能的影响。结果表明:Ti Si CN薄膜组织致密,具有纳米晶Ti（CN）与非晶相（SiC、Si3N4和C）;薄膜中C原子固溶于Ti（CN）中,随着C含量的增加,Ti（CN）固溶度增加;部分C以非晶态的形式存在,起到阻碍Ti Si CN纳米晶粒生长作用; Si以非晶SiC和Si3N4相的形式存在,并包裹Ti CN纳米晶,抑制薄膜晶粒的长大;高Si含量Ti Si CN-No.2薄膜和高C含量Ti Si CN-No.3薄膜表现出高硬度和耐磨减摩特性。

论文目录

• 0前言
• 1 试验
•   1.1 试样制备
•   1.2 测试分析
• 2 结果与讨论
•   2.1 薄膜形貌及成分
•   2.2 薄膜物相
•   2.3 薄膜硬度及磨损性能
•   2.4 讨论分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 郭岩,王博,米紫昊,陈朋涛,陈创浩

关键词: 硬度薄膜,硬度,磨损率,摩擦系数,工业用钢

来源: 材料保护 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 西安热工研究院有限公司

分类号: TG174.4

DOI: 10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2019.02.019

页码: 82-86+112

总页数: 6

文件大小: 980K

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