超精密车削表面仿真与评价集成系统的研究

论文摘要

表面形貌仿真是实现高效高精度的超精密加工技术必不可少的研究方法。为了减少在理论模型的计算和表面形貌的仿真分析时间,并且实现仿真结果与测量结果的直接对比,提出一种将理论模型的仿真结果与测量仪器的分析软件进行集成的方法,并开发集成系统。文章通过研究超精密车削加工表面形貌的影响因素,基于Matlab和Bruker Wyko Vision软件,建立超精密车削加工表面仿真与评价的集成系统,为超精密车削加工工艺提供指导。通过车削加工实验中仿真和测量数据的对比结果表明,所开发的集成系统可有效应用于超精密加工领域中加工形貌仿真、加工质量评价、分析等。

论文目录

• 0 引言
• 1 白光干涉技术
• 2 超精密车削加工形貌仿真
• 3 集成系统的开发
• 4 超精密加工和测量实验验证
•   4.1 单点金刚石平面车削实验
•   4.2 慢刀伺服车削加工微透镜阵列实验
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 颜志涛,王素娟

关键词: 白光干涉仪,测量技术,超精密加工

来源: 组合机床与自动化加工技术 2019年10期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室

基金: 国家自然科学基金广东联合基金(U1601202)

分类号: TG51

DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2019.10.038

页码: 156-160

总页数: 5

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