本实用新型公开一种热电偶出炉密封结构,热电偶为若干个,每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管,氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管,且分成两部分,一部分在高温化学气相沉积炉内,一部分在高温化学气相沉积炉外,中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接,热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件,硅胶套件内表面与热电偶丝出炉金属连接件接触,外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。本实用新型可以很好的保证绝缘性和炉体在热电偶出炉处的密封性。
1.一种热电偶出炉密封结构,其特征在于:所述热电偶为若干个,每个热电偶丝外部套有氧化铝两孔绝缘管,所述氧化铝两孔绝缘管外部套有氧化铝保护套管,且分成两部分,一部分在高温化学气相沉积炉内,一部分在高温化学气相沉积炉外,中间通过热电偶丝出炉金属连接件连接,所述热电偶丝出炉连接件的外部嵌套一硅胶套件,所述硅胶套件内表面与所述热电偶丝出炉金属连接件接触,外表面与一带有阶梯圆槽孔的金属圆板接触并压紧。
申请码:申请号:CN201920106187.1
申请日:2019-01-22
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:31(上海)
授权编号:CN209605961U
授权时间:20191108
主分类号:G01K 7/04
专利分类号:G01K7/04;G01K1/10
范畴分类:31C;
申请人:上海康碳复合材料科技有限公司;福建康碳复合材料科技有限公司
第一申请人:上海康碳复合材料科技有限公司
申请人地址:201814 上海市嘉定区安亭镇百安公路539号4幢
发明人:邵忠;周伟
第一发明人:邵忠
当前权利人:上海康碳复合材料科技有限公司;福建康碳复合材料科技有限公司
代理人:包文超
代理机构:31302
代理机构编号:上海市海华永泰律师事务所
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
本文来源: https://www.lunwen90.cn/article/501b76c10fca7a995a6c35a7.html