卢瑟福背散射分析元素浓度深度分布的计算方法研究

论文摘要

卢瑟福背散射实验可通过背散射粒子的能谱分析材料中杂质元素浓度及深度分布,其中,获取深度分布的计算方法主要包括近似计算法(表面能量近似和平均能量近似)与数值积分法,计算过程涉及的阻止本领由SRIM程序给出。该文对计算难度小、准确度低的近似计算方法和计算难度大、准确度高的数值积分法进行了比较,给出在5%误差范围内表面能量近似和平均能量近似的适用范围,为实验数据处理过程中计算方法的选取提供依据。

论文目录

• 1 深度分布计算原理及计算方法的比较
• 2 计算结果的比较
•   2.1 RBS分析的基本实验条件
•   2.2 阻止本领的计算与拟合公式
•   2.3 不同计算方法间的偏离
•   2.4 近似计算法的适用范围
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈秀莲,张洁,覃雪,刘军

关键词: 卢瑟福背散射实验,表面能量近似,平均能量近似,数值积分

来源: 实验科学与技术 2019年05期

年度: 2019

分类: 基础科学

专业: 物理学

单位: 四川大学物理科学与技术学院

分类号: O572.212

页码: 102-107+124

总页数: 7

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