半导体光生电荷分离及迁移原位X射线光电子能谱仪表征分析系统的研制

论文摘要

在确保X射线光电子能谱仪(XPS)原有超高真空系统及性能指标的基础上,设计并研制出一套适用于半导体光生电荷分离及迁移的原位XPS分析测试系统.将XPS与半导体光照体系相结合,实现了外载激发光源与X射线同步照射于半导体表面,观测并记录样品中特征元素结合能峰位数据.通过对比光照前后结合能峰位变化,判定光致激发半导体材料光生电荷分离及迁移的方向及确定其量化数据.

论文目录

• 1 系统工作原理
• 2 系统可实现功能
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 黄晓卷,张亚军,刘佳梅,焦正波,牛建中

关键词: 射线光电子能谱仪,半导体,光生电荷

来源: 分析测试技术与仪器 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 中国科学院兰州化学物理研究所公共技术服务中心,中国科学院兰州化学物理研究所羰基合成与选择氧化国家重点实验室

基金: 中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(2018gl06)

分类号: TH842

DOI: 10.16495/j.1006-3757.2019.02.006

页码: 98-100

总页数: 3

文件大小: 225K

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