图像测量显微镜数控二维载物台的设计

论文摘要

针对数字显微镜大幅面图像拼接中图像扫描的问题,设计了用于显微镜图像拼接的数控二维载物台机械结构与控制系统。通过采用二维堆叠式共面结构减少了阿贝误差,提高了系统集成度,同时结合有限元分析方法,对机械结构进行了分析;基于单片机设计了基于高精度光栅尺反馈与PID精密运动控制结合的二维数控平台的闭环位移控制系统,实现了二维移动平台X/Y方向的运动控制;采用双频激光干涉仪对所设计的数控二维载物台进行了标定,建立了运动控制误差补偿模型,提高了系统运动精度。研究结果表明:该结构在10 kg负载下形变为0.229 5μm;经补偿后,在100 mm×100 mm的行程范围内重复定位精度小于±5μm。

论文目录

• 0 引 言
• 1 机械结构设计
• 2 位移控制系统设计
•   2.1 控制系统组成
•   2.2 软件系统设计
• 3 系统误差补偿与实验测试
•   3.1 误差补偿方案原理
•   3.2 实验分析与实验结果
•   3.3 数据分析与补偿
• 4 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 苏进,夏豪杰,敖银辉

关键词: 显微镜,二维平台,运动控制,误差补偿

来源: 机电工程 2019年09期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 广东工业大学机电工程学院,广东三水合肥工业大学研究院,合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

基金: 佛山市科技创新团队项目(2014IT100115)

分类号: TH742

页码: 944-948

总页数: 5

文件大小: 800K

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