隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用

论文摘要

利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱动器的适用性。工艺上通过键合、减薄、激光烧蚀及硅的湿法刻蚀工艺完成了器件的制备,施加频率10 Hz和100 Hz的交变信号测出了中心膜片位移与对应电压的关系,施加峰峰值为1 V的信号测得共振频率为70 kHz。基于制备的压电驱动器设计并制备了机械式带止回阀的微泵,经测试泵入、泵出功能正常。当对微泵外加峰峰值为30 V、频率为500 Hz的驱动电压信号时,每分钟能驱动的液体流量为55μL。该驱动器的驱动效果好,可进一步结合不同的微阀设计制备性能更加优良的微泵。

论文目录

• 0 引言
• 1 结构设计与仿真
• 2 压电驱动器的制备
• 3 压电驱动器的测试
• 4 微泵的制备与测试
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张成功,李以贵,王欢

关键词: 块材钛酸锆铅,压电驱动器,微泵,微加工技术,微电子机械系统

来源: 微纳电子技术 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 机械工业

单位: 上海应用技术大学理学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(60777016),上海市联盟计划资助项目(LM201712)

分类号: TH-39

DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.02.010

页码: 145-150+156

总页数: 7

文件大小: 2930K

下载量: 122