离线镀膜玻璃针孔缺陷的影响因素探讨

论文摘要

采用离线磁控溅射工艺生产的镀膜玻璃,由于其颜色丰富、性能优良、生产效率高等特点,在建筑玻璃领域得到了广泛的应用。生产过程中由于多种因素的影响,镀膜玻璃会产生各类缺陷,通过对磁控溅射生产镀膜玻璃在过程中出现的针孔缺陷进行分析,结合实际生产经验给出相应的改善方法。

论文目录

• 0 引言
• 1 磁控溅射镀膜
• 2 针孔缺陷与观测
• 3 影响针孔缺陷因素与改善措施
•   3.1 原片质量
•   3.2 清洗质量
•   3.3 传送环境
•   3.4 真空环境
•   3.5 腔室状态
•   3.6 溅射状态
•   3.7 溅射材料
•   3.8 设备与工艺
•   3.9 后加工过程
• 4 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈大伟

关键词: 镀膜玻璃,针孔缺陷,影响因素,磁控溅射

来源: 玻璃 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 信义玻璃(天津)有限公司

分类号: TQ171.65

页码: 46-51

总页数: 6

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