一种新型的低噪声硅微机械陀螺电容读出电路

论文摘要

陀螺系统的微机械敏感结构部分的性能提升受到成本、工艺的限制,有较高难度,故提升接口电路的各项性能成为提升整个系统性能的关键。因此,电容读出电路作为微机械陀螺系统中非常重要的组成部分,该电路性能的优劣直接决定着陀螺的测量精度。为实现硅微陀螺高精度检测,设计了一款低噪声的电容读出电路。在陀螺与读出电路之间设计斩波开关,基于斩波技术进行低噪声设计,采用相关双采样技术用来降低关键的第一级放大电路的低频闪烁噪声和开关噪声。采用了一种简化的陀螺测试模型,用于读出电路的独立测试。读出电路在0.18μm CMOS工艺下设计流片,测试结果表明,该电容读出电路输出噪声为-122.8dBV/Hz1/2,可实现0.06aF/Hz1/2的电容分辨率。

论文目录

• 0 引言
• 1 系统结构
• 2 电路实现
•   2.1 采用CDS技术的第一级放大电路
•   2.2 运算放大器设计
• 3 陀螺测试模型
• 4 测试与分析
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 吴传奇,张欢阳,童紫平,龙善丽,贺克军

关键词: 硅微陀螺,电容读出电路,斩波技术,相关双采样

来源: 导航与控制 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技

专业: 自动化技术

单位: 华东光电集成器件研究所

分类号: TP212

页码: 100-106

总页数: 7

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