论文摘要
近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。有效横向压电系数(e31,f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的有效横向压电系数。在优化xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的基础上,通过多层悬臂梁研究xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的有效横向压电系数,当压电薄膜悬臂梁在交变电压作用下产生弯曲振动时,利用激光多普勒测振仪测量多层悬臂梁自由端的振动振幅,并根据悬臂梁法评估横向压电系数的基本原理,计算薄膜的有效横向压电系数,进而研究xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电性能。通过调控La的掺量,可优化压电薄膜的性能。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 孙科学,常月欣,成谢锋
关键词: 射频磁控溅射沉积,薄膜,有效横向压电特性,悬臂梁
来源: 材料导报 2019年14期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 南京邮电大学电子与光学工程学院,江苏省射频集成与微组装工程实验室
基金: 国家自然科学基金(11304160),南京邮电大学自然科学基金(NY215111)~~
分类号: TB383.2
页码: 2299-2304
总页数: 6
文件大小: 2100K
下载量: 79
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标签：射频磁控溅射沉积论文; 薄膜论文; 有效横向压电特性论文; 悬臂梁论文;