化学液相淀积论文_孙捷,孙迎春

导读:本文包含了化学液相淀积论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:液相,化学,氧化物,集成电路,薄膜,过程,论文。

化学液相淀积论文文献综述

孙捷,孙迎春^[1]（2003）在《集成电路薄膜工艺的新进展——化学液相淀积》一文中研究指出介绍了化学液相淀积法制备氧化物薄膜的工艺过程及其在集成电路生产中的应用,并报道了一些最新研究成果。(本文来源于《材料导报》期刊2003年10期）

孙捷^[2]（2003）在《化学液相淀积法制备氧化铝薄膜》一文中研究指出无机氧化物薄膜在现代微电子学、固体电子学和光学工程中有广泛的应用。氧化物薄膜的制备已经成为凝聚态物理学的一个研究热点。传统制备氧化物薄膜的方法包括热氧化、化学汽相淀积、金属有机物化学汽相淀积、溶胶凝胶法等等。但是，这些方法大多要求非常复杂的实验设备，而且不容易操作。一种新的制备氧化物薄膜的方法——化学液相淀积(CLD)于1988年被Nagayama等人首次提出。它可以在更为简单的实验条件下制备氧化物薄膜，因此引起了人们的极大兴趣。但是，在全球范围内，化学液相淀积氧化铝薄膜尚未被研究过。在本文中，我们将报导制各氧化铝薄膜的CLD新方法。首先，我们先仔细研究了化学液相淀积氧化硅薄膜的过程(主要是参考Houng等人的工作)。然后，通过一套包括浸在水浴装置中的聚四氟乙烯生长室的实验装置系统，我们完成了化学液相淀积氧化铝薄膜的实验过程。制备生长液所用的化学试剂包括Al_2(SO_4)_3·18H_2O、NaHCO_3和去离子水。这是一个无机盐水解和高温退火的过程。薄膜的质量用AFM、AES、EDS、XRD、FTIR等实验手段进行表征，结果显示制得的叁氧化二铝薄膜表面均匀而平整，化学组份纯正(不含氢元素)，而且属于高硬度的晶态超薄膜。(本文来源于《大连理工大学》期刊2003-03-01）

化学液相淀积论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

无机氧化物薄膜在现代微电子学、固体电子学和光学工程中有广泛的应用。氧化物薄膜的制备已经成为凝聚态物理学的一个研究热点。传统制备氧化物薄膜的方法包括热氧化、化学汽相淀积、金属有机物化学汽相淀积、溶胶凝胶法等等。但是，这些方法大多要求非常复杂的实验设备，而且不容易操作。一种新的制备氧化物薄膜的方法——化学液相淀积(CLD)于1988年被Nagayama等人首次提出。它可以在更为简单的实验条件下制备氧化物薄膜，因此引起了人们的极大兴趣。但是，在全球范围内，化学液相淀积氧化铝薄膜尚未被研究过。在本文中，我们将报导制各氧化铝薄膜的CLD新方法。首先，我们先仔细研究了化学液相淀积氧化硅薄膜的过程(主要是参考Houng等人的工作)。然后，通过一套包括浸在水浴装置中的聚四氟乙烯生长室的实验装置系统，我们完成了化学液相淀积氧化铝薄膜的实验过程。制备生长液所用的化学试剂包括Al_2(SO_4)_3·18H_2O、NaHCO_3和去离子水。这是一个无机盐水解和高温退火的过程。薄膜的质量用AFM、AES、EDS、XRD、FTIR等实验手段进行表征，结果显示制得的叁氧化二铝薄膜表面均匀而平整，化学组份纯正(不含氢元素)，而且属于高硬度的晶态超薄膜。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。