全文摘要
本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，钟罩壳内设有钟罩保温层，钟罩保温层内设有钟罩箱，钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，钟罩箱上设有通气孔，反应柜内部底端上设有与液压油泵连接的升降平台，升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，钟罩壳左右两侧设有通向空腔的进气管，进气管上设有转接头，反应柜左右两侧设有通向空腔的出气管，出气管上下两端设有球阀，出气管上设有与冷水机连接的水冷管，钟罩保温层前后两侧设有通向空腔的硅钼棒；本实用新型适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。
主设计要求
1.一种钟罩式化学气相沉积设备，包括控制柜，控制柜内前端设有控制器、质量流量计控制器、与质量流量计控制器连接的进料接头，控制柜后端从上至下依次设有冷水机、气化器、真空泵、液压油泵，其特征在于：反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，所述钟罩壳内设有钟罩保温层，所述钟罩保温层内设有钟罩箱，所述钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，所述钟罩箱上设有通气孔，所述反应柜内部底端上设有与所述液压油泵连接的升降平台，所述升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，所述钟罩壳左右两侧设有通向所述空腔的进气管，所述进气管上设有转接头，所述反应柜左右两侧设有通向所述空腔的出气管，所述出气管上下两端设有球阀，所述出气管上设有与所述冷水机连接的水冷管，所述钟罩保温层前后两侧设有通向所述空腔的硅钼棒，所述钟罩壳上设有通向所述空腔的热电偶。
设计方案
1.一种钟罩式化学气相沉积设备，包括控制柜，控制柜内前端设有控制器、质量流量计控制器、与质量流量计控制器连接的进料接头，控制柜后端从上至下依次设有冷水机、气化器、真空泵、液压油泵，其特征在于：
反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，所述钟罩壳内设有钟罩保温层，所述钟罩保温层内设有钟罩箱，所述钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，所述钟罩箱上设有通气孔，所述反应柜内部底端上设有与所述液压油泵连接的升降平台，所述升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，所述钟罩壳左右两侧设有通向所述空腔的进气管，所述进气管上设有转接头，所述反应柜左右两侧设有通向所述空腔的出气管，所述出气管上下两端设有球阀，所述出气管上设有与所述冷水机连接的水冷管，所述钟罩保温层前后两侧设有通向所述空腔的硅钼棒，所述钟罩壳上设有通向所述空腔的热电偶。
2.根据权利要求1所述的钟罩式化学气相沉积设备，其特征在于：所述钟罩壳下端设有压紧装置。
3.根据权利要求2所述的钟罩式化学气相沉积设备，其特征在于：所述出气管上设有通向所述钟罩壳内上端的弯管。
4.根据权利要求3所述的钟罩式化学气相沉积设备，其特征在于：所述钟罩箱、所述箱体封闭板由碳化硅板制成。
5.根据权利要求4所述的钟罩式化学气相沉积设备，其特征在于：所述升降平台为小型双剪液压升降平台。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体而言，涉及一种钟罩式化学气相沉积设备。
背景技术
气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层；气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积；目前实验室的化学气相沉积设备多是小型的管式炉，尺寸较小，不适用较大的零件，且进气出气方式不均匀。
实用新型内容
本实用新型正是基于上述技术问题至少之一，提出了一种新的钟罩式化学气相沉积设备，适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。
有鉴于此，本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括控制柜，控制柜内前端设有控制器、质量流量计控制器、与质量流量计控制器连接的进料接头，控制柜后端从上至下依次设有冷水机、气化器、真空泵、液压油泵；
还包括反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，所述钟罩壳内设有钟罩保温层，所述钟罩保温层内设有钟罩箱，所述钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，所述钟罩箱上设有通气孔，所述反应柜内部底端上设有与所述液压油泵连接的升降平台，所述升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，所述钟罩壳左右两侧设有通向所述空腔的进气管，所述进气管上设有转接头，所述反应柜左右两侧设有通向所述空腔的出气管，所述出气管上下两端设有球阀，所述出气管上设有与所述冷水机连接的水冷管，所述钟罩保温层前后两侧设有通向所述空腔的硅钼棒。
优选的，所述钟罩壳上设有通向所述空腔的热电偶。
优选的，所述钟罩壳下端设有压紧装置。
优选的，所述出气管上设有通向所述钟罩壳内上端的弯管。
优选的，所述钟罩箱、所述箱体封闭板由碳化硅板制成。
优选的，所述升降平台为小型双剪液压升降平台。
本实用新型的有益效果是：通过以上技术方案，适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。
附图说明
图1示出了根据本实用新型的实施例的钟罩式化学气相沉积设备的结构示意图；
图2示出了根据本实用新型的实施例的反应柜主视图的结构示意图；
图3示出了根据本实用新型的实施例的反应柜右视图的结构示意图；
图4示出了根据本实用新型的实施例的控制柜主视图的结构示意图；
图5示出了根据本实用新型的实施例的控制柜右视图的结构示意图；
图中：1为反应柜，2为钟罩壳，3为钟罩保温层，4为钟罩箱，5为通气孔，6为升降平台，7为壳体封闭板，8为保温封闭板，9为箱体封闭板，10为进气管，11为转接头，12为出气管，13为弯管，14为球阀，15为水冷管，16为硅钼棒，17为控制柜，18为质量流量计控制器，19为进料接头，20为冷水机，21为气化器，22为真空泵，23为液压油泵，24为控制器，25为压紧装置，26为热电偶。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
以下结合图1至图5对本实用新型的技术方案做进一步说明。
如图所示，本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括控制柜17，控制柜17内前端设有控制器24、质量流量计控制器18、与质量流量计控制器18连接的进料接头19，控制柜17后端从上至下依次设有冷水机20、气化器21、真空泵22、液压油泵23；
还包括反应柜1，反应柜1与控制柜17连接，反应柜1内上端设有钟罩壳2，钟罩壳2内设有钟罩保温层3，钟罩保温层3内设有钟罩箱4，钟罩保温层3内壁与钟罩箱4外侧形成空腔，钟罩保温层3内壁与钟罩箱4左右两侧形成的空腔为锥形，钟罩箱4上设有通气孔5，方便气体进入，反应柜1内部底端上设有与液压油泵23连接的升降平台6，升降平台6上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板7、保温封闭板8、箱体封闭板9，在升降平台6上升到最高点之后，壳体封闭板7、保温封闭板8、箱体封闭板9依次与钟罩壳2、钟罩保温层3、钟罩箱4配合封闭连接，钟罩壳2左右两侧设有通向空腔的穿过钟罩保温层3的进气管10，进气管10上设有转接头11，每个转接头11上设有两个气口，可同时连接两个气管，反应柜1左右两侧设有通向空腔钟罩保温层3的出气管12，出气管12上下两端设有球阀14，上端的球阀14排出气体，下端的球阀14待反应结束后排出气体冷凝之后的液体，出气12管上设有与冷水机20连接的水冷管15，冷却反应气体，钟罩保温层3前后两侧设有通向空腔的硅钼棒16，硅钼棒16用来加热气体使其达到反应温度，钟罩壳2上设有通向空腔的热电偶26，测量空腔内的温度，钟罩壳2下端设有压紧装置25，压紧装置25包括与钟罩壳2转动连接的把手、与把手连接的转动螺柱，压紧装置25用来压紧与升降平台6配合的边框，出气管12上设有通向钟罩壳2内上端的弯管13，用来排出漏到罩壳2内上端的气体，钟罩箱4、箱体封闭板9由碳化硅板制成，升降平台6为小型双剪液压升降平台。
工作时，将产品放到箱体封闭板9上，升降平台6上升将产品送入钟罩箱4内，通入气体将其钟罩壳2内的杂质空气排出，硅钼棒16加热钟罩箱4内达到反应温度，根据不用的产品通入不同的气体，加热发生气相沉积反应；控制柜17内前端设有控制器24、质量流量计控制器18、与质量流量计控制器18连接的进料接头19，控制柜17后端从上至下依次设有冷水机20、气化器21、真空泵22、液压油泵23，控制器24包括控制屏幕与按键，控制器24与钟罩式化学气相沉积设备内的工作设备连接，通过按键控制器开启关闭等，通过控制屏幕显示反应温度、时间等，真空泵22与出气管12连接，方便抽出气体，气化器21将液体体转换为气体，进气的三个进料接头19、气化器21与质量流量计控制器18连接，之后从出气的四个进料接头19出气连接到转接头11上，质量流量计控制器18控制气体进入速度。
以上结合附图详细说明了本实用新型的技术方案，本实用新型的技术方案提出了一种新的钟罩式化学气相沉积设备，通过以上技术方案，适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920048291.X
申请日:2019-01-11
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:41(河南)
授权编号:CN209685912U
授权时间:20191126
主分类号:C23C16/52
专利分类号:C23C16/52;C23C16/455;C23C16/458
范畴分类:25F;
申请人:郑州科佳电炉有限公司
第一申请人:郑州科佳电炉有限公司
申请人地址:450000 河南省郑州市高新技术产业开发区红叶路18号
发明人:程亚南;王锴宁;时昌温;连克科
第一发明人:程亚南
当前权利人:郑州科佳电炉有限公司
代理人:边鹏
代理机构:41130
代理机构编号:郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计