导读:本文包含了金刚石簿膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:金刚石,等离子体,薄膜,气相,微波,颗粒,化学。
金刚石簿膜论文文献综述写法
[1]（2008）在《微波等离子沉积金刚石簿膜》一文中研究指出常规的高温高压方法制备的金刚石存在条件苛刻,设备投入高,金刚石质量不高等缺点。目前我国使用的金刚石刀具多为进口的聚晶(PCD)金刚石刀具或金刚石聚晶片(将人造金刚石微粒加黏合剂在高温高压下压成的金刚石复合片),也有将金刚石聚晶片或金刚石厚膜通过烧结或焊接(本文来源于《新技术新工艺》期刊2008年02期）
刘沙,易丹青,余志明,李泳侠[2]（2001）在《硬质合金(YG_6)基体上生长金刚石簿膜组织结构及成份的研究》一文中研究指出用XRD、SEM及Raman光谱仪等检测手段,研究了经表面二步法浸蚀后,YG_6硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度。结果表明:(1)随着硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的增加,金刚石薄膜晶体结构由明显的{111}面取向,逐步向{111}和{110}面的混合取向转变.(2)SEM形貌现察发现,硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量愈低,沉积出的金刚石薄膜组织形态愈接近于菱形,而{111}和{110}面混合取向的薄膜组织形态呈球状化。(3)Raman光谱测定结果表明,球状化的薄膜组织,有一定的非晶碳成份,其金刚石的化学纯度较低.(4)随着CVD沉积温度的降低,薄膜的晶粒组织明显减小,但沉积温度降低至约700℃时,薄膜的金刚石纯度大大降低.(本文来源于《第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集》期刊2001-10-01）
孙亦宁,郭晓土,李敬起[3]（1994）在《微波等离子体化学气相沉积金刚石簿膜》一文中研究指出建立了一台微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的设备。该实验装置由以下几部分组成：微波源及传输系统、反应室、供气系统、真空系统和检测等五部分组成。沉积室是由长７０ｍｍ直径４６ｍｍ的石英管组成的。分别采用ＣＨ４／Ｈ２和ＣＯ／Ｈ２混合气体进行了沉积试验；研究了沉积参数对沉积金刚石膜的影响。在直径３０ｍｍ的单晶硅片和石英片上沉积出了均匀的金刚石膜。采用ＣＨ４／Ｃ２混合气体时，沉积速率在０．５～１．０μｍ／ｈ之间，这与原有的热灯丝方法相近。采用ＣＯ／Ｈ２混合气体时，沉积速率可达到１．７μｍ／ｈ。(本文来源于《真空与低温》期刊1994年04期）
曹传宝,彭定坤,孟广耀[4]（1992）在《金刚石簿膜生长技术》一文中研究指出本文回顾了低压合成金刚石的历史,对各种金刚石薄膜的生长方法进行了简要的对比。低压条件下金刚石处于亚稳态而石墨处于稳定相,本文重点介绍了低压条件下抑制石墨形成促进金刚石生长的关键因素。对金刚石在不同衬底上的成核状况,衬底的表面状况对成核的影响,生长过程中原子氢的作用,以及衬底温度的影响等作了概括,提出了目前阶段金刚石薄膜研究中所要解决的问题。(本文来源于《微细加工技术》期刊1992年03期）
高克林,王春林,詹如娟,彭定坤,孟广耀[5]（1992）在《金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性》一文中研究指出一、引言 在金刚石薄膜的制备过程中,人们往往监测成膜过程中的宏观参量,使其工艺的重复性,优选性受到了很大限制。而随着对膜质量和结构的要求越来越高,人们开始开展对低压下合成金刚石机理的研究,但至今未见系统地研究宏观参量与等离子体参量方面的工作报道。(本文来源于《核聚变与等离子体物理》期刊1992年02期）
朴松花[6]（1987）在《直径3微米的金刚石颗粒上镀金属簿膜》一文中研究指出安达新产业公司,在大阪大学产业科学研究所的协助下,研究出在平均颗粒直径为3μm的金刚石颗粒表面有控地凝聚金属钯的技术。该技术是,在液体酒精中放入金刚石颗粒和氯化钯,然后,从外边用氙灯照射进行光催化反应。如果配合化学镀镍,可以提高用树脂粘合法制造的金刚石刀具的性能和降低成本。该技术有可能发展为在陶瓷微小颗粒上用凝聚方法自由地形成贵重金属薄膜的新技术,也可以用于新功能仪器的开发上。(本文来源于《飞航导弹》期刊1987年05期）
金刚石簿膜论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
用XRD、SEM及Raman光谱仪等检测手段,研究了经表面二步法浸蚀后,YG_6硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、组织及化学纯度。结果表明:(1)随着硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量的增加,金刚石薄膜晶体结构由明显的{111}面取向,逐步向{111}和{110}面的混合取向转变.(2)SEM形貌现察发现,硬质合金基体表面一定深度范围内Co含量愈低,沉积出的金刚石薄膜组织形态愈接近于菱形,而{111}和{110}面混合取向的薄膜组织形态呈球状化。(3)Raman光谱测定结果表明,球状化的薄膜组织,有一定的非晶碳成份,其金刚石的化学纯度较低.(4)随着CVD沉积温度的降低,薄膜的晶粒组织明显减小,但沉积温度降低至约700℃时,薄膜的金刚石纯度大大降低.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
金刚石簿膜论文参考文献
[1]..微波等离子沉积金刚石簿膜[J].新技术新工艺.2008
[2].刘沙,易丹青,余志明,李泳侠.硬质合金(YG_6)基体上生长金刚石簿膜组织结构及成份的研究[C].第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集.2001
[3].孙亦宁,郭晓土,李敬起.微波等离子体化学气相沉积金刚石簿膜[J].真空与低温.1994
[4].曹传宝,彭定坤,孟广耀.金刚石簿膜生长技术[J].微细加工技术.1992
[5].高克林,王春林,詹如娟,彭定坤,孟广耀.金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性[J].核聚变与等离子体物理.1992
[6].朴松花.直径3微米的金刚石颗粒上镀金属簿膜[J].飞航导弹.1987