导读:本文包含了弹性反冲探测分析论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:弹性,探测器,深度,望远镜,含量,薄膜,氢化。
弹性反冲探测分析论文文献综述
刘超卓[1]（2010）在《弹性反冲探测技术分析薄膜中的氢和氦含量》一文中研究指出给出了用离子束来弹性反冲探测能谱,分析薄膜材料中的轻质元素含量及其深度分布的基本原理和试验方法,并对其发展和应用做了介绍。作为应用举例,用8 MeV的O3+作为入射离子进行弹性反冲金属钛膜中的氢和氦,通过解析能谱获得了氢和氦含量的深度分布曲线。该技术在涉及氢和氦在材料中的行为研究方面将有重要应用。(本文来源于《理化检验(物理分册)》期刊2010年08期）
路秀琴,符长波,周平,郭继宇,赵葵[2]（2004）在《弹性反冲探测技术在材料分析中的应用》一文中研究指出利用HI 13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力。(本文来源于《原子能科学技术》期刊2004年S1期）
周平,路秀琴,郭继宇,赵葵,吴伟明[3]（2004）在《α-Si_(1-x)C_x∶H薄膜材料的弹性反冲探测分析》一文中研究指出介绍在中国原子能科学研究院HI 13串列加速器上,对α Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质127I束流轰击α Si1-xCx∶H薄膜材料样品,用ΔE(gas) E(PSD)望远镜探测器,在前角区(30°角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA对能谱进行拟合,得到样品中H,C和Si的比分及深度分布.(本文来源于《原子核物理评论》期刊2004年03期）
路秀琴,符长波,周平,郭继宇,赵葵[4]（2004）在《弹性反冲探测技术在材料分析中的应用》一文中研究指出利用HI-13串列加速器提供的高品质的~(127)I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力。(本文来源于《第叁届北京核学会核应用技术学术交流会论文集》期刊2004-06-30）
周平,路秀琴,郭继宇,赵葵,隋丽[5]（2004）在《弹性反冲探测分析方法的研究历史和现状简介》一文中研究指出本文简单介绍了弹性反冲探测分析(ERDA)方法的发展历史及其在当代核分析技术领域中的地位,详细讨论了目前弹性反冲探测分析(ERDA)方法的研究现状,包括探测方法的发展与改进,实验数据分析方法和修正各种误差方法的建立,并就各种方法的优缺点进行了比较。探讨了目前ERDA研究面临的主要困难以及介绍了国际上几个主要相关实验室的研究动态,并对ERDA研究的发展趋势作了简单展望。(本文来源于《第十二届全国核物理大会暨第七届会员代表大会论文摘要集》期刊2004-04-01）
路秀琴,符长波,郭继宇,赵葵,胡桂青[6]（2001）在《高分辨的弹性反冲探测分析技术》一文中研究指出在中国原子能科学研究院HI- 13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析技术 .用高质量的1 2 7I重离子束轰击薄膜或块材靶样品 ,利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电离室ΔE -E望远镜探测器两套探测系统 ,在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱 .利用卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领 ,将能谱转换成元素的深度分布 .利用Q3D磁谱仪系统 ,对C和H等轻元素的分析得到纳米级的深度分辨谱 .用ΔE -E望远镜探测器可同时得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布 ,其深度分辨率达 2 0— 30nm .(本文来源于《物理》期刊2001年06期）
符长波[7]（2001）在《高分辨弹性反冲探测分析（ERDA）技术》一文中研究指出在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析系统。该系统用高质量的重离子束轰击薄膜或块材靶样品，利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电离室ΔE—E望远镜探测器两套探测系统，在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱。利用卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领，编制程序将能谱转换成元素的深度分布。从而实现高精度的深度分辨测量。 利用该系统，对薄膜和多层材料进行元素成分深度分析结果表明，在从轻元素H到中重元素Ga的很大范围内，得到纳米级的深度分辨谱。用100MeV的127I束对C/LiF多层样品分析结果表明，表面分辩达到了1.2纳米。用ΔE—E望远镜探测器同时地得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布，其深度分辨达20～30nm。应用以上技术测量了C/LiF多层膜、GaN膜和LaBaCuO超导膜等多种样品的成分及杂质的深度分布。 其中设计制作了一套双电离室纵向型ΔE—E型望远镜系统，克服了横向型电离室结构复杂和探测立体角较小的弊病，电离室能量分辨达3.3％(对50.3MeV12C)。利用该系统对多种样品进行了成份分析，可同时得到了样品中多种元素的深度分布谱。它可单独作ERD分析，也可配合Q3D磁谱仪进行ERD分析，获得高精度的元素深度分布谱，也可用于其它核物理实验中。(本文来源于《中国原子能科学研究院》期刊2001-05-30）
路秀琴,符长波,郭继宇,赵葵,梁刚[8]（2000）在《表面高分辨弹性反冲探测分析》一文中研究指出在中国原子能科学研究院 HI- 1 3串列加速器上建立了用 Q3D磁谱仪动量分析和ΔE- E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术 .用 1 0 0 Me V12 7I对 C/Li F多层样品的深度分布分析表明 ,表面分辨达到 1 .2 nm.所建立的ΔE(气体 ) - E(半导体 )望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素 .实测了新光电材料 Ga N,La2 Sr Cu O4 超导膜和新超硬材料 C3N4 (Si)等样品 .(本文来源于《原子核物理评论》期刊2000年04期）
刘世杰,吴越,盛康龙,李春瑛[9]（1989）在《用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布》一文中研究指出利用2.0—2.5MeV He的弹性反冲探测方法,测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布,并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.(本文来源于《高能物理与核物理》期刊1989年06期）
弹性反冲探测分析论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
利用HI 13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析。用ΔE E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30nm。用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
弹性反冲探测分析论文参考文献
[1].刘超卓.弹性反冲探测技术分析薄膜中的氢和氦含量[J].理化检验(物理分册).2010
[2].路秀琴,符长波,周平,郭继宇,赵葵.弹性反冲探测技术在材料分析中的应用[J].原子能科学技术.2004
[3].周平,路秀琴,郭继宇,赵葵,吴伟明.α-Si_(1-x)C_x∶H薄膜材料的弹性反冲探测分析[J].原子核物理评论.2004
[4].路秀琴,符长波,周平,郭继宇,赵葵.弹性反冲探测技术在材料分析中的应用[C].第叁届北京核学会核应用技术学术交流会论文集.2004
[5].周平,路秀琴,郭继宇,赵葵,隋丽.弹性反冲探测分析方法的研究历史和现状简介[C].第十二届全国核物理大会暨第七届会员代表大会论文摘要集.2004
[6].路秀琴,符长波,郭继宇,赵葵,胡桂青.高分辨的弹性反冲探测分析技术[J].物理.2001
[7].符长波.高分辨弹性反冲探测分析（ERDA）技术[D].中国原子能科学研究院.2001
[8].路秀琴,符长波,郭继宇,赵葵,梁刚.表面高分辨弹性反冲探测分析[J].原子核物理评论.2000
[9].刘世杰,吴越,盛康龙,李春瑛.用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布[J].高能物理与核物理.1989
论文知识图
