论文摘要
为了提高划痕、麻点等镜片疵病的检测效率,设计了一款用于镜片疵病在线检测的双路双远心光学系统,针对不同口径的镜片可以选择相应倍率以达到不同的检测精度。系统具有宽景深的特点,物方线视场为10～40 mm,具有0.5和0.25两种放大倍率。在检测时只需要根据疵病检测精度需求,选择不同倍率的光学组件,无需在检测中更换镜头。经过选择初始结构、优化、公差分析等过程完成了整个系统的设计工作,最终两种倍率下MTF均贴近衍射极限;各视场畸变均小于0.5%;远心度均小于1°。对于10～20 mm,20～40 mm直径范围的镜片,检测精度分别可以达到0.02 mm,0.04 mm,满足镜片疵病检测的要求。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张合,向阳,李琦,王克璞,李显杰
关键词: 光学设计,双倍率,双远心系统,疵病检测
来源: 长春理工大学学报(自然科学版) 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 长春理工大学光电工程学院
基金: 吉林省科技厅项目(20180201044YY)
分类号: TH87
页码: 23-28
总页数: 6
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