微电机械系统论文_施向华,邱怡申,李高明,徐惠真

导读:本文包含了微电机械系统论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微电机,激光器,系统,衰减器,可调,反射镜,移动性。

微电机械系统论文文献综述

^[1]（2010）在《微电机械系统(MEMS)在传感技术上的应用介绍》一文中研究指出1人类的感官人通过感觉器官来感知自然界的多姿与多彩,而人的感觉器官常常被等同于五官。人的感觉器官主要是眼、耳、鼻、舌、皮肤等5种,但与人们常说的眼、耳、鼻、口、舌这五官还是有区别的。这五种感知器官主要感知的是光、机械、热等物理量,当然鼻和舌兼具感知化学量(如酸等)的功能。(本文来源于《射频世界》期刊2010年06期）

施向华,邱怡申,李高明,徐惠真^[2]（2006）在《基于微电机械系统的反射式可变光衰减器的研究与设计》一文中研究指出利用双光纤准直器研制出一种基于微电机械系统(M icro E lectron ic M echan ica l System,M EM S)技术的连续可调光衰减器,利用双光纤准直器光纤头(P igta il)的楔角面对C-L ens准直透镜产生的色散进行了补偿,使得该衰减器工作在C-B and及衰减范围内具有极低的波长相关损耗(W ave lengthD ependen t Loss,W DL)值.分析了影响该衰减器的其它光学性能的各个因素.对所试制样品进行测试结果表明:该衰减器具有良好的光学性能,插损(Insertion Loss,IL),回损(R eturn Loss,RL)等指标达到理想的结果,特别是W DL指标性能优于同类产品.(本文来源于《福建师范大学学报(自然科学版)》期刊2006年02期）

胡巧燕,袁菁,李静,李宝军^[3]（2005）在《4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列》一文中研究指出微电机械系统(MEMS)光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用高斯光束耦合理论对光开关阵列插入损耗(IL)进行了理论计算,并对引起插入损耗的主要因素进行了分析。对于失调容限:输入与输出光纤准直器位置失调2μm,定位角度失调0.15°,微镜非垂直反射角度失调0.15°,制作了4×4微电机械系统光开关阵列,对其各个通道的插入损耗进行了实验测试,其中最大值为2.77dB。(本文来源于《中国激光》期刊2005年07期）

刘洪楷^[4]（2004）在《微电机械系统使光通讯用可调谐激光器成为可能》一文中研究指出动态重组的下一代光纤通讯系统要求配置能将信号传输到任意波分复用通道,并能在通道中实现转换的波长可调谐激光器。目前世界各国科学家积极投入此项研究工作,正在考虑各种方案以实现工作稳定、高效率和廉价的可调谐激光器,其中就包括采用悬臂式微电子机械系统单元的设计。(本文来源于《光机电信息》期刊2004年03期）

刘峰^[5]（2003）在《微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来》一文中研究指出随着波分复用 (WDM )网络的发展 ,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加 ,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力 ,而微电机械系统 (MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构 (如光交叉连接器件、光插 /分多路传输器 )和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件 (如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件 )。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。(本文来源于《光机电信息》期刊2003年10期）

于立亭,李锋^[6]（2003）在《微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景》一文中研究指出微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场,预计未来若干年仍会高速增长。由于人们对医疗保健、信息、可移动性和可持续发展的渴望,刺激了对微技术产品的需求,一些高技术生产工艺和材料应运而生,而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器件功能、生产工艺和综合优化过程的软件显得至关重要。此外,微器件的应用正在扩展至信息、自动化和医学技术领域,同时也为未来由微小型化在化学工程、生命科学、工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础。(本文来源于《光机电信息》期刊2003年01期）

宋晓舒^[7]（2003）在《微电机械系统商业化的现状和未来展望》一文中研究指出2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ,实现该技术的商业化是一个艰难的过程。MEMS是一项可以实现的技术 ,同时也是一项破坏性技术 ,它注定要完全取代现有的人们所熟悉的经过严密论证的解决方案。一项新技术通常要具有明显的优越性 ,方可取代一项既定的技术。作为经验之谈 ,在可能采用新技术之前需要在一些重要的参数上 ,(如性能和成本上 )具有 5倍的优势。现在市场上已经出现了几种MEMS器件 ,并已发展到重要的商业化阶段。其他几种技术正处于商业成功的边缘。MEMS器件的特性、主要生产厂商及如何克服MEMS实现商业化障碍的问题将得到深入研究。本文将预测这种技术的未来发展趋势。(本文来源于《光机电信息》期刊2003年01期）

方舟,严寒^[8]（2002）在《微电机械系统》一文中研究指出２００２０１００３７用于显示的基于微电机械系统的干涉调制器＝MEMS－basedinterferometricmodulatorfordisplayapplica－tions犤英犦／MilesMW∥Proc．SPIE．—１９９９．３８７６－２０～２８２０(本文来源于《光机电信息》期刊2002年01期）

^[9]（2001）在《微电机械系统(MEMS)的发展》一文中研究指出目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术,以便能产生下一代光学网络标准组件,即全光开关。在该领域,微电子机械系统具有很大的发展潜力,美国的一些公司已(本文来源于《光机电信息》期刊2001年04期）

方舟,严寒^[10]（2001）在《微电机械系统MEMS》一文中研究指出2001010001用于集成微电机械系统设计的计算机辅助设计=CADfor integrated MEMS design [英]/MukherjeeT … //Proc. SPIE.-2000,4019. -3-14(本文来源于《光机电信息》期刊2001年01期）

微电机械系统论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

利用双光纤准直器研制出一种基于微电机械系统(M icro E lectron ic M echan ica l System,M EM S)技术的连续可调光衰减器,利用双光纤准直器光纤头(P igta il)的楔角面对C-L ens准直透镜产生的色散进行了补偿,使得该衰减器工作在C-B and及衰减范围内具有极低的波长相关损耗(W ave lengthD ependen t Loss,W DL)值.分析了影响该衰减器的其它光学性能的各个因素.对所试制样品进行测试结果表明:该衰减器具有良好的光学性能,插损(Insertion Loss,IL),回损(R eturn Loss,RL)等指标达到理想的结果,特别是W DL指标性能优于同类产品.

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

微电机械系统论文参考文献

[1]..微电机械系统(MEMS)在传感技术上的应用介绍[J].射频世界.2010

[2].施向华,邱怡申,李高明,徐惠真.基于微电机械系统的反射式可变光衰减器的研究与设计[J].福建师范大学学报(自然科学版).2006

[3].胡巧燕,袁菁,李静,李宝军.4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列[J].中国激光.2005

[4].刘洪楷.微电机械系统使光通讯用可调谐激光器成为可能[J].光机电信息.2004

[5].刘峰.微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来[J].光机电信息.2003

[6].于立亭,李锋.微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景[J].光机电信息.2003

[7].宋晓舒.微电机械系统商业化的现状和未来展望[J].光机电信息.2003

[8].方舟,严寒.微电机械系统[J].光机电信息.2002

[9]..微电机械系统(MEMS)的发展[J].光机电信息.2001

[10].方舟,严寒.微电机械系统MEMS[J].光机电信息.2001

论文知识图

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