变倾角移相斜入射动态干涉仪

论文摘要

为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量。在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm。实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。

论文目录

• 1 引言
• 2 理论推导
•   2.1 变倾角移相干涉原理
•   2.2 同步移相与空间分光方案
• 3 实验结果
• 4 讨论分析
•   4.1 测量灵敏度分析
•   4.2 空间分辨率
•   4.3 出射波前像差引入的系统误差及抑制?ó
•   4.4 空间分光系统成像质量
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘致远,陈磊,朱文华,丁煜,马云,郑东晖

关键词: 干涉测量,斜入射,动态干涉仪,表面平整度

来源: 光电工程 2019年08期

年度: 2019

分类: 信息科技,基础科学

专业: 物理学

单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京理工大学先进发射协同创新中心

基金: 国家自然科学基金资助项目(U1731115)~~

分类号: O436.1

页码: 40-48

总页数: 9

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