电子工业洁净室工艺排气检测及调试

论文摘要

工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患。论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通过数据分析和对比排除安全隐患,保障工业洁净室安全运行。

论文目录

• 1 引言
• 2 工程背景
• 3 工艺排气检测的目的及检测要点
•   3.1 检测目的
•   3.2 检测要点
• 4 测试方法与测试结果
•   4.1 仪器设备
•   4.2 测试的前提条件
•   4.3 测试方法
• 5 设备调试
•   5.1 调试目的
•   5.2 主风管风量平衡调试
•   5.3 支管风量平衡调试
•   5.4 排气设备检测、调试内容
•   5.5 检测方法
• 6 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 翟传明,章忠飞,王娟娟,苏乃硕,闻义,张扬艺

关键词: 电子工业,洁净室,排气,检测与调试

来源: 智能建筑与智慧城市 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 安全科学与灾害防治,建筑科学与工程

单位: 中电投工程研究检测评定中心有限公司,京东方科技集团股份有限公司

分类号: TU834.8

DOI: 10.13655/j.cnki.ibci.2019.02.013

页码: 35-38

总页数: 4

文件大小: 1412K

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