全文摘要
本实用新型公开了一种水平转移矽晶片的装置，包括箱体，所述箱体内设有空腔，所述空腔内的底部转动连接有转动杆，所述转动杆的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体的上端，所述空腔内的底部一侧固定有保护箱，所述保护箱内的一端侧壁上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴末端固定有连接杆，所述连接杆的一端贯穿保护箱内的一端侧壁并延伸至保护箱的一侧。本实用新型通过对水平转移装置的改进，解决了现有的矽晶片生产过程中水平转移时效率低下的问题，并且通过夹持块和夹持板可以对矽晶片稳定夹持，还能通过第二螺钉更换不同规格的夹持装置，提高了生产效率，降低了破损率，节省了成本，方便使用。
主设计要求
1.一种水平转移矽晶片的装置，包括箱体(2)，其特征在于：所述箱体(2)内设有空腔，所述空腔内的底部转动连接有转动杆(1)，所述转动杆(1)的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体(2)的上端，所述空腔内的底部一侧固定有保护箱(10)，所述保护箱(10)内的一端侧壁上安装有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)的输出轴末端固定有连接杆，所述连接杆的一端贯穿保护箱(10)内的一端侧壁并延伸至保护箱(10)的一侧，所述连接杆的一端固定有第二锥形齿轮(9)，所述转动杆(1)上固定有第一锥形齿轮(8)，且第一锥形齿轮(8)和第二锥形齿轮(9)相互啮合，所述箱体(2)的上端设有转动装置，所述转动装置的上端设有机械臂(6)，所述机械臂(6)的一端设有夹持装置。
设计方案
1.一种水平转移矽晶片的装置，包括箱体(2)，其特征在于：所述箱体(2)内设有空腔，所述空腔内的底部转动连接有转动杆(1)，所述转动杆(1)的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体(2)的上端，所述空腔内的底部一侧固定有保护箱(10)，所述保护箱(10)内的一端侧壁上安装有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)的输出轴末端固定有连接杆，所述连接杆的一端贯穿保护箱(10)内的一端侧壁并延伸至保护箱(10)的一侧，所述连接杆的一端固定有第二锥形齿轮(9)，所述转动杆(1)上固定有第一锥形齿轮(8)，且第一锥形齿轮(8)和第二锥形齿轮(9)相互啮合，所述箱体(2)的上端设有转动装置，所述转动装置的上端设有机械臂(6)，所述机械臂(6)的一端设有夹持装置。
2.根据权利要求1所述的一种水平转移矽晶片的装置，其特征在于，所述转动装置包括设置在箱体(2)上端的转动板(4)，所述箱体(2)的上端设有圆形滑槽(20)，所述圆形滑槽(20)内安装有四个弧形滑块(3)，四个弧形滑块(3)的上端共同固定在转动板(4)的下端，所述转动杆(1)的上端固定在转动板(4)的下端，所述机械臂(6)的下端固定有安装板(7)，所述安装板(7)通过四个第一螺钉(5)安装在转动板(4)的上端。
3.根据权利要求1所述的一种水平转移矽晶片的装置，其特征在于，所述夹持装置包括设置在机械臂(6)一侧的固定板(17)，所述固定板(17)上贯穿设有两个第二螺钉(18)，所述机械臂(6)的一侧设有与第二螺钉(18)对应的螺纹通孔(19)，且第二螺钉(18)的一端延伸至螺纹通孔(19)内，所述固定板(17)的一侧下端固定有连接板(14)，所述连接板(14)的一侧安装有夹持块(13)，所述固定板(17)的一侧转动连接有电动伸缩杆(16)，所述电动伸缩杆(16)的一端转动连接有夹持板(15)，所述夹持板(15)的一端转动连接在固定板(17)的一侧，且固定板(17)与夹持块(13)和连接板(14)相对应。
4.根据权利要求3所述的一种水平转移矽晶片的装置，其特征在于，所述夹持板(15)的一侧安装有橡胶层。
5.根据权利要求1所述的一种水平转移矽晶片的装置，其特征在于，所述箱体(2)的下端四角均固定有支撑块(12)。
6.根据权利要求3所述的一种水平转移矽晶片的装置，其特征在于，所述夹持块(13)采用耐高温硅胶制成。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及矽晶片加工的技术领域，尤其涉及一种水平转移矽晶片的装置。
背景技术
矽晶，即硅晶，硅的结晶体，分为单晶硅和多晶硅，单晶硅可以用来制作晶圆，晶圆是制造集成电路的基本原料；而高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，被称为“微电子大厦的基石”。
但是，现有的矽晶片生产过程中水平转移时效率低下，导致生产工作效率低下，增加了工作人员的劳动强度，增加了成本，并且现有的水平转移设备不能对矽晶片进行稳定夹持，导致破损率居高不下，还不能根据生产需要更换合适的夹持装置，为此，我们提出一种水平转移矽晶片的装置来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种水平转移矽晶片的装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种水平转移矽晶片的装置，包括箱体，所述箱体内设有空腔，所述空腔内的底部转动连接有转动杆，所述转动杆的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体的上端，所述空腔内的底部一侧固定有保护箱，所述保护箱内的一端侧壁上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴末端固定有连接杆，所述连接杆的一端贯穿保护箱内的一端侧壁并延伸至保护箱的一侧，所述连接杆的一端固定有第二锥形齿轮，所述转动杆上固定有第一锥形齿轮，且第一锥形齿轮和第二锥形齿轮相互啮合，所述箱体的上端设有转动装置，所述转动装置的上端设有机械臂，所述机械臂的一端设有夹持装置。
优选地，所述转动装置包括设置在箱体上端的转动板，所述箱体的上端设有圆形滑槽，所述圆形滑槽内安装有四个弧形滑块，四个弧形滑块的上端共同固定在转动板的下端，所述转动杆的上端固定在转动板的下端，所述机械臂的下端固定有安装板，所述安装板通过四个第一螺钉安装在转动板的上端。
优选地，所述夹持装置包括设置在机械臂一侧的固定板，所述固定板上贯穿设有两个第二螺钉，所述机械臂的一侧设有与第二螺钉对应的螺纹通孔，且第二螺钉的一端延伸至螺纹通孔内，所述固定板的一侧下端固定有连接板，所述连接板的一侧安装有夹持块，所述固定板的一侧转动连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端转动连接有夹持板，所述夹持板的一端转动连接在固定板的一侧，且固定板与夹持块和连接板相对应。
优选地，所述夹持板的一侧安装有橡胶层。
优选地，所述箱体的下端四角均固定有支撑块。
优选地，所述夹持块采用耐高温硅胶制成。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、通过伺服电机、转动杆、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮和转动装置的配合，使用伺服电机带动转动盘转动，解决了现有的矽晶片生产过程中水平转移时效率低下的问题，实现了提高伸生产效率的目的，降低了工作人员的劳动强度；
2、通过支撑臂、第二螺钉和夹持装置的配合，解决了现有的水平转移设备不能对矽晶片进行稳定夹持的问题，实现了降低破损率的目的，并且通过第二螺钉，可以更换不同规格的夹持装置，降低了成本，方便使用；
综上所述，本装置解决了现有的矽晶片生产过程中水平转移时效率低下的问题，并且通过夹持块和夹持板可以对矽晶片稳定夹持，还能通过第二螺钉更换不同规格的夹持装置，提高了生产效率，降低了破损率，节省了成本，方便使用。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种水平转移矽晶片的装置的内部结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种水平转移矽晶片的装置的外部结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种水平转移矽晶片的装置的A处放大图；
图4为本实用新型提出的一种水平转移矽晶片的装置箱体的结构示意图。
图中：1转动杆、2箱体、3弧形滑块、4转动板、5第一螺钉、6机械臂、7安装板、8第一锥形齿轮、9第二锥形齿轮、10保护箱、11伺服电机、12支撑块、13夹持块、14连接板、15夹持板、16电动伸缩杆、17固定板、18第二螺钉、19螺纹通孔、20圆形滑槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-4，一种水平转移矽晶片的装置，包括箱体2，箱体2的下端四角均固定有支撑块12，箱体2内设有空腔，空腔内的底部转动连接有转动杆1，转动杆1的上端贯穿空腔内的顶部并延伸至箱体2的上端，空腔内的底部一侧固定有保护箱10，起到保护作用，保护箱10内的一端侧壁上安装有伺服电机11，提供稳定的动力，伺服电机11的输出轴末端固定有连接杆，连接杆的一端贯穿保护箱10内的一端侧壁并延伸至保护箱10的一侧，通过支撑块12，实现了对箱体2的稳定支撑；
连接杆的一端固定有第二锥形齿轮9，转动杆1上固定有第一锥形齿轮8，且第一锥形齿轮8和第二锥形齿轮9相互啮合，方便改变转动方向，箱体2的上端设有转动装置，转动装置的上端设有机械臂6，机械臂6的一端设有夹持装置，通过第一锥形齿轮8和第二锥形齿轮9改变了转动的方向，方便输送动力。
本实用新型中，转动装置包括设置在箱体2上端的转动板4，箱体2的上端设有圆形滑槽20，圆形滑槽20内安装有四个弧形滑块3，提高了转动时的稳定性，降低了转动时的阻力，四个弧形滑块3的上端共同固定在转动板4的下端，转动杆1的上端固定在转动板4的下端，机械臂6的下端固定有安装板7，安装板7通过四个第一螺钉5安装在转动板4的上端，使用伺服电机11带动第一锥形齿轮8转动，从而带动第二锥形齿轮9转动，继而带动固定在转动杆1上的转动板4转动，转动板4通过圆形滑槽20和弧形滑块3稳定转动，进而带动机械臂6转动，实现了对矽晶片的水平转移，通过第一螺钉5方便对机械臂6进行维护和更换，降低了成本。
本实用新型中，夹持装置包括设置在机械臂6一侧的固定板17，固定板17上贯穿设有两个第二螺钉18，机械臂6的一侧设有与第二螺钉18对应的螺纹通孔19，且第二螺钉18的一端延伸至螺纹通孔19内，方便拆卸和更换，固定板17的一侧下端固定有连接板14，连接板14的一侧安装有夹持块13，夹持块13采用耐高温硅胶制成，避免了对矽晶片的损坏，固定板17的一侧转动连接有电动伸缩杆16，电动伸缩杆16的一端转动连接有夹持板15，夹持板15的一侧安装有橡胶层，方便进行夹持，将夹持块13的一侧延伸至矽晶片的下端，通过转动连接在固定板17一侧的电动伸缩杆16带动夹持板15转动，从而实现了对矽晶片的稳定夹持，夹持板15的一端转动连接在固定板17的一侧，且固定板17与夹持块13和连接板14相对应，通过夹持装置，降低了矽晶片的损坏，实现了对矽晶片的稳定夹持，降低了破损率。
本实用新型中，在使用时，使用第一螺钉5将安装板7安装在转动板4的上端，方便维护和更换，使用第二螺钉18将固定板17安装在机械臂6的一侧，当工作时，将夹持块13的一侧延伸至矽晶片的下端，通过转动连接在固定板17一侧的电动伸缩杆16带动夹持板15转动，从而实现了对矽晶片的稳定夹持，使用伺服电机11带动第一锥形齿轮8转动，从而带动第二锥形齿轮9转动，继而带动固定在转动杆1上的转动板4转动，转动板4通过圆形滑槽20和弧形滑块3稳定转动，进而带动机械臂6转动，实现了对矽晶片的水平转移，方便使用。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920112648.6
申请日:2019-01-23
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:44(广东)
授权编号:CN209515629U
授权时间:20191018
主分类号:H01L 21/677
专利分类号:H01L21/677;H01L21/687
范畴分类:38F;23E;
申请人:佛山市南海益晶科技有限公司
第一申请人:佛山市南海益晶科技有限公司
申请人地址:528000 广东省佛山市南海里水镇宏岗沥口东兴路13号之四
发明人:李翔
第一发明人:李翔
当前权利人:佛山市南海益晶科技有限公司
代理人:张伶俐
代理机构:42241
代理机构编号:武汉明正专利代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计