MEMS谐振式加速度计技术发展的研究

MEMS谐振式加速度计技术发展的研究

论文摘要

目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析,论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状,归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题。结果与结论针对MEMS谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术,提出了集成化、石英微加工和新材料将是提高MEMS谐振式加速度计性能的必要途径。

论文目录

  • 1 国内外研究现状
  •   1.1 国外研究现状
  •   1.2 国内研究现状
  • 2 关键技术问题
  •   (1)激励与检测电路
  •   (2)工艺误差
  •   (3)封装技术
  • 3 发展趋势
  • 4 结束语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 魏宏波,高红卫

    关键词: 谐振式加速度计,谐振器

    来源: 宝鸡文理学院学报(自然科学版) 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

    专业: 仪器仪表工业

    单位: 宝鸡文理学院机械工程学院,陕西省机器人关键零部件先进制造与评估省市共建重点实验室

    基金: 陕西省教育厅自然科学专项计划项目(16JK1051)

    分类号: TH824.4

    DOI: 10.13467/j.cnki.jbuns.2019.03.008

    页码: 75-80

    总页数: 6

    文件大小: 1224K

    下载量: 428

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