天光一号预放大器自动准直技术研究

论文摘要

天光一号高功率KrF准分子激光装置采用光学角多路实现了六束激光的主振荡功率放大,其光路复杂,人工调节繁琐,指向精度难以保证,且激光波长为248 nm,属于深紫外波段,无法采用常用的光束自动准直方法。为了保障六束激光聚焦叠加并稳定精准地照射到靶面上,需开展适合天光一号装置激光参数及光路特性的自动准直技术研究。本文以预放大器三束输入、输出光路为研究对象,探索适合天光一号装置的自动准直方法,建立了预放大器光路自动准直系统,实现了快速、高精度光束的调节,验证了自动准直方案的可行性,为天光一号KrF准分子激光装置实现全光路自动准直奠定了技术基础。

论文目录

• 1 自动准直方法建立
•   1.1 基准光源选取
•   1.2 预放大器输入、输出自动准直方案
• 2 预放大器输入、输出自动准直系统的建立
• 3 预放大器输入、输出自动准直系统的测试结果
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李静,王钊,胡凤明,高智星,田宝贤

关键词: 准分子激光,自动准直,预放大器

来源: 原子能科学技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 中国原子能科学研究院核物理研究所

基金: 国家自然科学基金青年科学基金资助项目(11505299)

分类号: TN249;TN722

页码: 1112-1116

总页数: 5

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