造孔剂含量对树脂结合剂硅片减薄砂轮磨削性能的影响

论文摘要

为改善硅片背面减薄效果,在树脂结合剂硅片减薄砂轮里添加造孔剂。通过体积密度测试、扫描电镜观察和磨削实验,研究造孔剂含量对树脂结合剂砂轮结构和磨削性能的影响。结果表明:随着造孔剂体积分数增加、投料比降低,砂轮内部孔隙率增大;且磨削实验证明造孔剂可以提高硅片的表面质量。当造孔剂添加体积分数在10%、体积密度投料比控制在75%时,树脂结合剂硅片减薄砂轮在磨削过程中具有较好的综合磨削性能,磨削出来的硅片表面粗糙度R_a、R_z、R_y值波动范围小,与其他条件下的砂轮磨削的硅片相比,表面一致性好。

论文目录

• 1 实验条件与过程
•   1.1 样品试制
•   1.2 体积密度检测
•   1.3 形貌观察
•   1.4 磨削实验
• 2 结果与讨论
•   2.1 不同造孔剂含量对砂轮微观结构的影响
•   2.2 不同造孔剂含量的硅片减薄砂轮磨削性能对比
•   2.3 不同造孔剂含量硅片减薄砂轮磨削硅片后的表面粗糙度
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 惠珍,赵延军,张高亮,赵炯,丁玉龙,叶腾飞,孙冠男,熊华军

关键词: 硅片背面减薄砂轮,气孔率,磨纹,哈量粗糙度值

来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,超硬材料磨具国家重点实验室

分类号: TG580.6;TG743

DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.4.0010

页码: 62-65

总页数: 4

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