不同粒径球形氧化铝的制备及其对蓝宝石的抛光性能研究

论文摘要

采用均匀沉淀法,以硫酸铝、尿素、PEG-2000为原料,通过调整Al3+浓度制备不同粒径的球形氧化铝。采用X射线衍射仪、扫描电镜对前驱体及氧化铝进行表征。将不同粒径的氧化铝及外购的氧化铝磨料对蓝宝石进行晶片化学机械抛光,利用原子力显微镜检查抛光前后蓝宝石表面粗糙度。结果表明,自制粒径360 nm的球形氧化铝具有最好的抛光效果,材料去除率为21.0 nm/min,表面粗糙度Ra=0.373 nm。

论文目录

• 1 实验部分
•   1.1 试剂与仪器
•   1.2 不同粒径球形氧化铝的制备[8]
•   1.3 抛光实验
•     1.3.1 抛光浆料的配制
•     1.3.2 抛光工艺参数
•   1.4 表征
•   1.5 抛光后基片表面检测
•     1.5.1 材料去除速率
•     1.5.2 表面粗糙度
• 2 结果与讨论
•   2.1 前驱体及氧化铝的表征
•     2.1.2 不同铝盐浓度对氧化铝前驱体形貌的影响
•     2.1.3 不同粒径的球形氧化铝对蓝宝石化学机械抛光的影响
•     2.1.4 最佳粒径球形氧化铝抛光前后的表面形貌
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张曼

关键词: 球形氧化铝,化学机械抛光,蓝宝石,去除速率,表面粗糙度

来源: 安徽化工 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 合肥工业大学化学与化工学院

分类号: TQ133.1;TQ164.2

页码: 44-47

总页数: 4

文件大小: 261K

下载量: 204