全文摘要
本实用新型公开了一种硅片原料的酸洗装置，包括清洗缸，所述清洗缸的底端通过轴承转动安装有转动圈，转动圈穿设有转动杆，所述转动杆的一端延伸至清洗缸内，所述转动杆的一端固定连接有第一放置篮，第一放置篮的底部为板式结构，第一放置篮的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板，所述第一放置篮的一侧设有第二放置篮，第一放置篮和第二放置篮一起组成圆柱形结构，且第一放置篮和第二放置篮靠近放置垫板的两侧外壁均焊接有两个连接块，连接块均开设有十字形的通孔，第二放置篮的连接块的一侧均固定安装有保护壳，保护壳活动穿设有拉杆。本实用新型设计结构合理，操作简单，使用方便，能够方便清洗，而且清洗效果更好。
主设计要求
1.一种硅片原料的酸洗装置，包括清洗缸(1)，其特征在于，所述清洗缸(1)的底端通过轴承转动安装有转动圈(5)，转动圈(5)穿设有转动杆(6)，所述转动杆(6)的一端延伸至清洗缸(1)内，所述转动杆(6)的一端固定连接有第一放置篮(2)，第一放置篮(2)的底部为板式结构，第一放置篮(2)的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板(4)，所述第一放置篮(2)的一侧设有第二放置篮(9)，第一放置篮(2)和第二放置篮(9)一起组成圆柱形结构，且第一放置篮(2)和第二放置篮(9)靠近放置垫板(4)的两侧外壁均焊接有两个连接块(3)，连接块(3)均开设有十字形的通孔，第二放置篮(9)的连接块(3)的一侧均固定安装有保护壳(11)，保护壳(11)活动穿设有拉杆(10)，拉杆(10)的杆体套设有弹簧(12)，拉杆(10)的杆体焊接有挡块，且挡块和弹簧(12)均位于保护壳(11)内，弹簧(12)位于挡块和保护壳(11)的一端内壁之间，拉杆(10)的一端穿过第二放置篮(9)的连接块(3)延伸到另一侧，且拉杆(10)的一端固定连接有卡杆(13)，且卡杆(13)的一端还穿过第一放置篮(2)的连接块(3)的通孔。
设计方案
1.一种硅片原料的酸洗装置，包括清洗缸(1)，其特征在于，所述清洗缸(1)的底端通过轴承转动安装有转动圈(5)，转动圈(5)穿设有转动杆(6)，所述转动杆(6)的一端延伸至清洗缸(1)内，所述转动杆(6)的一端固定连接有第一放置篮(2)，第一放置篮(2)的底部为板式结构，第一放置篮(2)的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板(4)，所述第一放置篮(2)的一侧设有第二放置篮(9)，第一放置篮(2)和第二放置篮(9)一起组成圆柱形结构，且第一放置篮(2)和第二放置篮(9)靠近放置垫板(4)的两侧外壁均焊接有两个连接块(3)，连接块(3)均开设有十字形的通孔，第二放置篮(9)的连接块(3)的一侧均固定安装有保护壳(11)，保护壳(11)活动穿设有拉杆(10)，拉杆(10)的杆体套设有弹簧(12)，拉杆(10)的杆体焊接有挡块，且挡块和弹簧(12)均位于保护壳(11)内，弹簧(12)位于挡块和保护壳(11)的一端内壁之间，拉杆(10)的一端穿过第二放置篮(9)的连接块(3)延伸到另一侧，且拉杆(10)的一端固定连接有卡杆(13)，且卡杆(13)的一端还穿过第一放置篮(2)的连接块(3)的通孔。
2.根据权利要求1所述的一种硅片原料的酸洗装置，其特征在于，所述清洗缸(1)的底端外壁焊接有四个支撑杆，四个支撑杆的一端共同固定安装有座板，清洗缸(1)的底端外壁和座板的顶端之间通过轴承转动安装有两个双向螺纹杆(8)，双向螺纹杆(8)位于四个支撑杆之间，两个双向螺纹杆(8)之间通过螺纹活动安装有支撑板(7)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片原料的酸洗装置，其特征在于，所述转动圈(5)的内孔为矩形结构，转动杆(6)的杆体为四棱柱结构，转动杆(6)与转动圈(5)的内孔相匹配，转动杆(6)的另一端通过轴承与支撑板(7)的顶端转动安装，支撑板(7)的底端固定安装有第一电机，第一电机的输出轴与转动杆(6)的另一端固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种硅片原料的酸洗装置，其特征在于，所述转动圈(5)的底端外壁固定安装有第二电机，第二电机的输出轴固定安装有第一齿轮，其中一个双向螺纹杆(8)的杆体固定安装有第二齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合，两个双向螺纹杆(8)的杆体均固定安装有带轮，带轮之间通过皮带连接，皮带位于第一电机的下方。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种硅片原料的酸洗装置。
背景技术
半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。现有的清洗装置只要将硅片放在酸溶液中，进行静置并且发生化学反应，由于静置反应效率慢，而且不能很好让污物从硅片表面脱落，如果采用刷洗又容易造成表面刮花影响质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中硅片酸洗不充分，而且容易刮花存在的缺点，而提出的一种硅片原料的酸洗装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种硅片原料的酸洗装置，包括清洗缸，所述清洗缸的底端通过轴承转动安装有转动圈，转动圈穿设有转动杆，所述转动杆的一端延伸至清洗缸内，所述转动杆的一端固定连接有第一放置篮，第一放置篮的底部为板式结构，第一放置篮的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板，所述第一放置篮的一侧设有第二放置篮，第一放置篮和第二放置篮一起组成圆柱形结构，且第一放置篮和第二放置篮靠近放置垫板的两侧外壁均焊接有两个连接块，连接块均开设有十字形的通孔，第二放置篮的连接块的一侧均固定安装有保护壳，保护壳活动穿设有拉杆，拉杆的杆体套设有弹簧，拉杆的杆体焊接有挡块，且挡块和弹簧均位于保护壳内，弹簧位于挡块和保护壳的一端内壁之间，拉杆的一端穿过第二放置篮的连接块延伸到另一侧，且拉杆的一端固定连接有卡杆，且卡杆的一端还穿过第一放置篮的连接块的通孔。
优选的，所述清洗缸的底端外壁焊接有四个支撑杆，四个支撑杆的一端共同固定安装有座板，清洗缸的底端外壁和座板的顶端之间通过轴承转动安装有两个双向螺纹杆，双向螺纹杆位于四个支撑杆之间，两个双向螺纹杆之间通过螺纹活动安装有支撑板。
优选的，所述转动圈的内孔为矩形结构，转动杆的杆体为四棱柱结构，转动杆与转动圈的内孔相匹配，转动杆的另一端通过轴承与支撑板的顶端转动安装，支撑板的底端固定安装有第一电机，第一电机的输出轴与转动杆的另一端固定连接。
优选的，所述转动圈的底端外壁固定安装有第二电机，第二电机的输出轴固定安装有第一齿轮，其中一个双向螺纹杆的杆体固定安装有第二齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合，两个双向螺纹杆的杆体均固定安装有带轮，带轮之间通过皮带连接，皮带位于第一电机的下方。
本实用新型的有益效果是：通过设计的方便安装拆卸的第一放置篮和第二放置篮，能够将多个硅片分别插进两个放置垫板之间的间隙内，从而硅片一层层放置，使得硅片不相互碰撞，在酸洗时第一放置篮和第二放置篮组成的圆柱形结构可以旋转从而在酸洗时更充分，设计的双向螺纹杆能够驱动转动杆上移，从而第一放置篮和第二放置篮推出清洗缸，方便取出清洗好的硅片；本设计结构合理，操作简单，使用方便，能够方便清洗，而且清洗效果更好。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种硅片原料的酸洗装置的主视剖视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种硅片原料的酸洗装置的第一放置篮和第二放置篮组合安装俯视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种硅片原料的酸洗装置的卡杆安装结构示意图。
图中：1清洗缸、2第一放置篮、3连接块、4放置垫板、5转动圈、6转动杆、7支撑板、8双向螺纹杆、9第二放置篮、10拉杆、11保护壳、12弹簧、13卡杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种硅片原料的酸洗装置，包括清洗缸1，清洗缸1的底端通过轴承转动安装有转动圈5，转动圈5穿设有转动杆6，转动杆6的一端延伸至清洗缸1内，转动杆6的一端固定连接有第一放置篮2，第一放置篮2的底部为板式结构，第一放置篮2的内壁两侧均固定连接有竖直排布的放置垫板4，第一放置篮2的一侧设有第二放置篮9，第一放置篮2和第二放置篮9一起组成圆柱形结构，且第一放置篮2和第二放置篮9靠近放置垫板4的两侧外壁均焊接有两个连接块3，连接块3均开设有十字形的通孔，第二放置篮9的连接块3的一侧均固定安装有保护壳11，保护壳11活动穿设有拉杆10，拉杆10的杆体套设有弹簧12，拉杆10的杆体焊接有挡块，且挡块和弹簧12均位于保护壳11内，弹簧12位于挡块和保护壳11的一端内壁之间，拉杆10的一端穿过第二放置篮9的连接块3延伸到另一侧，且拉杆10的一端固定连接有卡杆13，且卡杆13的一端还穿过第一放置篮2的连接块3的通孔。
本实施例中，安装第一放置篮2和第二放置篮9时，将第一放置篮2和第二放置篮9的连接块3对齐，使得拉杆10的一端分别穿过第一放置篮2的连接块3的通孔，再转动拉杆10，使得拉杆10一端的卡杆13旋转位置与第一放置篮2的连接块3通孔错位，从而卡杆13卡在第一放置篮2的连接块3上，完成第一放置篮2和第二放置篮9的安装，第一电机和第二电机通过导线与外设的电源连接，转动圈5和转动杆6设计的结构能够实现转动杆6带动转动圈5转动，且两者之间不打滑，清洗缸1内倒入酸液，启动第一电机，使得第一电机带动转动杆6转动，从而带动第一放置篮2和第二放置篮9转动，使得硅片转动，从而进行酸洗，酸洗完成将酸液排出，启动第二电机，在第一齿轮和第二齿轮作用下，使得其中一个双向螺纹杆8转动，在皮带和带轮作用下带动两个双向螺纹杆8一起转动，从而驱动支撑板7上移，转动杆6推动第一放置篮2和第二放置篮9，使得硅片移出清洗缸1，由于双向螺纹杆8的双向螺纹，使得支撑板7上移到顶部时在双向螺纹的作用下又向下移动，从而能够实现支撑板7可以上移后又下降复位，整个装置采用耐酸性不锈钢制成。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920309809.0
申请日:2019-03-12
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:33(浙江)
授权编号:CN209736202U
授权时间:20191206
主分类号:B08B3/08
专利分类号:B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02
范畴分类:26P;
申请人:浙江明峰电子科技有限公司
第一申请人:浙江明峰电子科技有限公司
申请人地址:324300 浙江省衢州市开化县工业园区茶场片区茶四路6号
发明人:周建明
第一发明人:周建明
当前权利人:浙江明峰电子科技有限公司
代理人:陈娟
代理机构:11427
代理机构编号:北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计