激光自动对焦中离焦量的探测与计算方法

激光自动对焦中离焦量的探测与计算方法

论文摘要

根据激光光线聚焦状态不同对应被测面上激光光斑形状不同的特点,通过引入辅助激光束,分析了调焦CCD采集的激光光斑图像信息,进而根据光斑形状及半径等信息确定被测面对焦状态。针对实验中每隔相同离焦距离采集的一系列光斑图像,提出了相应的图像处理方案,以提取所需光斑半径信息,进而进行光斑半径与离焦量转换。实验结果表明,光斑半径与离焦量呈线性关系,最大线性范围灵敏度为2.342像素/μm,最高可实现0.43μm分辨率。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 穆文娟

关键词: 激光自动对焦,光斑图像处理,离焦量检测

来源: 光学仪器 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,信息科技

专业: 物理学,无线电电子学,计算机软件及计算机应用

单位: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

基金: 国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ220749)

分类号: TP391.41;TN249

页码: 14-17

总页数: 4

文件大小: 1334K

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