全文摘要
本实用新型公开了一种承载大小可调节式石英舟。该石英舟包括第一支撑腿和第二支撑腿，第一支撑腿和第二支撑腿相互平行设置，第一支撑腿开有第一通槽和第二通槽，第一通槽相对垂直于第二通槽，第一通槽相对于水平面成45°夹角，第一通槽、第二通槽较低的一端位于支撑腿下端，第一通槽、第二通槽的两边沿通槽方向各设有限位孔，限位孔内设有限位销，第二支撑腿和第一支撑腿结构相同，第二支撑腿包括第三通槽和第四通槽；第一支撑腿和第二支撑腿之间设有结构相同的第一石英柱和第二石英柱；第一石英柱的两端分别穿过第一通槽和第三通槽，第二石英柱的两端分别穿过第二通槽和第四通槽。本实用新型通过调节石英柱位置起调节石英舟承载大小的作用。
主设计要求
1.一种承载大小可调节式石英舟，包括第一支撑腿和第二支撑腿，第一支撑腿和第二支撑腿相互平行设置，其特征在于：所述第一支撑腿开有相对称的第一通槽和第二通槽，第一通槽位于第二通槽左侧，第一通槽相对垂直于第二通槽，第一通槽相对于水平面成45°夹角，第一通槽、第二通槽最低端位于第一支撑腿下端，第一通槽、第二通槽的两边沿通槽方向各设有限位孔，限位孔内设有限位销，第二支撑腿和第一支撑腿结构相同，第二支撑腿包括第三通槽和第四通槽；所述第一支撑腿和第二支撑腿之间设有结构相同的第一石英柱和第二石英柱；第一石英柱的两端分别穿过第一通槽和第三通槽，第二石英柱的两端分别穿过第二通槽和第四通槽。
设计方案
1.一种承载大小可调节式石英舟，包括第一支撑腿和第二支撑腿，第一支撑腿和第二支撑腿相互平行设置，其特征在于：所述第一支撑腿开有相对称的第一通槽和第二通槽，第一通槽位于第二通槽左侧，第一通槽相对垂直于第二通槽，第一通槽相对于水平面成45°夹角，第一通槽、第二通槽最低端位于第一支撑腿下端，第一通槽、第二通槽的两边沿通槽方向各设有限位孔，限位孔内设有限位销，第二支撑腿和第一支撑腿结构相同，第二支撑腿包括第三通槽和第四通槽；所述第一支撑腿和第二支撑腿之间设有结构相同的第一石英柱和第二石英柱；第一石英柱的两端分别穿过第一通槽和第三通槽，第二石英柱的两端分别穿过第二通槽和第四通槽。
2.根据权利要求1所述的承载大小可调节式石英舟，其特征在于：所述限位销为C形石英限位销。
3.根据权利要求1所述的承载大小可调节式石英舟，其特征在于：第一石英柱的两端、第二石英柱的两端都焊接有挡板，所述挡板置于限位销上侧。
4.根据权利要求1所述的承载大小可调节式石英舟，其特征在于：所述第一石英柱、第二石英柱是截面为矩形的石英柱，石英柱沿长度方向均匀设有硅片卡槽，第一石英柱设有硅片卡槽的一面与第二石英柱设有硅片卡槽的一面相向设置，第一石英柱设有硅片卡槽的一面相对垂直于第二石英柱设有硅片卡槽的一面。
5.根据权利要求4所述的承载大小可调节式石英舟，其特征在于：所述第一石英柱、第二石英柱各设有40个用于插入硅片的硅片卡槽；硅片卡槽两槽边的夹角为30°，卡槽的深度设置为3.5mm，相邻卡槽间的间距设置为5mm。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及石英舟技术领域，特别涉及一种承载大小可调节式石英舟。
背景技术
石英舟又名石英玻璃，主要应用于电光源、半导体、光学技术等方面。现有的石英舟都是采用焊接方式固定成型，按照所需处理硅片的规格生产不同规格的石英舟。现有技术中，申请号为201721271131.9的实用新型中公开了一种多尺寸通用石英舟，该石英舟通过设置多层的硅片托架达到适应不同规格硅片的效果。但多层硅片托架的制作比较复杂，制作成本也较高。所以需要一种结构简单且能可调节地能承载不同规格硅片的石英舟。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可调节的承载不同规格硅片的石英舟。
为了实现上述实用新型目的，本实用新型一种承载大小可调节式石英舟采用了如下技术方案：
一种承载大小可调节式石英舟，包括第一支撑腿和第二支撑腿，第一支撑腿和第二支撑腿相互平行设置，所述第一支撑腿开有相对称的第一通槽和第二通槽，第一通槽位于第二通槽的左侧，第一通槽相对垂直于第二通槽，第一通槽相对于水平面成45°夹角，第一通槽、第二通槽最低端位于支撑腿下端，第一通槽、第二通槽的两边沿通槽方向各设有限位孔，限位孔内设有限位销，第二支撑腿和第一支撑腿结构相同，第二支撑腿包括第三通槽和第四通槽；所述第一支撑腿和第二支撑腿之间设有结构相同的第一石英柱和第二石英柱；第一石英柱的两端分别穿过第一通槽和第三通槽，第二石英柱的两端分别穿过第二通槽和第四通槽。所述限位销为C形石英限位销。石英柱穿过通槽，可在通槽内沿通槽方向滑动，当石英柱在通槽内滑动时，使用限位销对石英柱进行限位，限位销对石英柱的限位能起到调节石英柱位置的作用，使石英柱能承载不同规格大小的硅片。
第一石英柱的两端、第二石英柱的两端都焊接有挡板，所述挡板置于限位销上侧。石英柱两端的挡板置于限位销上侧，挡板与石英柱焊接，通过限位挡板从而限位石英柱。
所述第一石英柱、第二石英柱是截面为矩形的石英柱，石英柱沿长度方向均匀设有硅片卡槽，第一石英柱设有硅片卡槽的一面与第二石英柱设有硅片卡槽的一面相向设置，第一石英柱设有硅片卡槽的一面相对垂直于第二石英柱设有硅片卡槽的一面。两个石英柱设有硅片卡槽的一面相向设置且相互垂直，方便了硅片的放置。
所述第一石英柱、第二石英柱各设有40个用于插入硅片的硅片卡槽；硅片卡槽两槽边的夹角为30°，卡槽的深度设置为3.5mm，相邻卡槽间的间距设置为5mm。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
本实用新型通过限位销对石英柱限位，能调节石英柱在通槽内的位置，石英柱在不同的位置，其所能承载的硅片的大小也不同，即通过调节石英柱位置起调节石英舟承载大小的作用；相对于安装多个石英柱组成硅片托架，本实用新型减少了材料的用量，降低了焊接的次数，达到了石英舟能调节其承载大小的效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为限位销的结构示意图；
图3为石英柱的结构示意图；
图4为图3的A部放大图。
其中，11第一支撑腿，12第二支撑腿，21第一通槽，22第二通槽，23第三通槽，24第四通槽，31第一石英柱，311挡板，312硅片卡槽，32第二石英柱，41限位孔，42限位销，α硅片卡槽两槽边夹角。
具体实施方式
下面结合具体实施方式，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1至图4所示，一种承载大小可调节式石英舟，包括第一支撑腿11和第二支撑腿12，第一支撑腿11和第二支撑腿12相互平行设置，所述第一支撑腿12开有相对称的第一通槽21和第二通槽22，第一通槽21相对垂直于第二通槽22，第一通槽21位于第二通槽22的左侧，第一通槽21相对于水平面成45°夹角，第二通槽22相对于水平面成45°夹角，第一通槽21、第二通槽22最低端位于第一支撑腿11下端，第一通槽21、第二通槽22的两边沿通槽方向各设有限位孔41，限位孔与限位孔之间距离相等，限位孔41内设有限位销42，限位销42为C形石英限位销，C形限位销的两端部插入限位孔41内，第二支撑腿12和第一支撑腿11结构相同，第二支撑腿12包括第三通槽23和第四通槽24；所述第一支撑腿11和第二支撑腿12之间设有结构相同的第一石英柱31和第二石英柱32；第一石英柱31的两端分别穿过第一通槽21和第三通槽23，第二石英柱32的两端分别穿过第二通槽22和第四通槽24。第一石英柱31的两端、第二石英柱32的两端都焊接有挡板311，所述挡板311置于限位销42上侧，所述限位销42的中部抵住所述挡板311，对石英柱进行限位。所述第一石英柱31、第二石英柱32是截面为矩形的石英柱，石英柱沿长度方向均匀设有硅片卡槽312，第一石英柱31设有硅片卡槽312的一面与第二石英柱32设有硅片卡槽312的一面相向设置，第一石英柱31设有硅片卡槽312的一面相对垂直于第二石英柱32设有硅片卡槽312的一面。所述第一石英柱31、第二石英柱32各设有40个用于插入硅片的硅片卡槽312；硅片卡槽312两槽边的夹角α为30°，卡槽的深度设置为3.5mm，相邻卡槽间的间距设置为5mm。
本实用新型的具体工作过程与原理：使用者根据所需放置的硅片的大小，同时调节第一石英柱31和第二石英柱32，使两个石英柱到达相同的高度，再使用C形石英限位销42对两个石英柱进行限位固定，再将硅片置入石英柱的硅片卡槽312内，完成石英舟对硅片的承载，之后将石英舟推入扩散炉，对硅片进行加工。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920113201.0
申请日:2019-01-23
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209328861U
授权时间:20190830
主分类号:H01L 21/673
专利分类号:H01L21/673
范畴分类:38F;23E;
申请人:扬州美和光电科技有限公司
第一申请人:扬州美和光电科技有限公司
申请人地址:225000 江苏省扬州市邗江区运河北路五丰商贸2号楼
发明人:孔超;郭辉;徐亮荣
第一发明人:孔超
当前权利人:扬州美和光电科技有限公司
代理人:谢东
代理机构:32315
代理机构编号:扬州润中专利代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：石英论文;