导读:本文包含了低温沉积技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:低温,气相,化学,薄膜,磁控溅射,等离子体,海藻。
低温沉积技术论文文献综述
刘静[1]（2019）在《基于超低温挤出沉积技术的含铜介孔生物活性玻璃/海藻酸钠复合骨组织工程支架的研究》一文中研究指出在骨修复领域,骨组织工程是目前公认的最具发展前景的骨缺损修复方式,而骨组织工程支架作为决定组织再生的关键因素是近年来的研究热点。骨的生物力学系统十分复杂,理想的骨修复支架对理化性能及生物学性能都有较高的要求。海藻酸钠因其优良的生物相容性、非免疫原性、生物可降解性和来源丰富价格低廉等优点,被广泛运用于骨组织工程支架的制备研究。然而海藻酸钠在叁维成型性能、机械性能及骨诱导能力等方面的缺陷,限制了其在骨修复领域中的应用。为此,本研究基于超低温气动挤出沉积工艺,以海藻酸钠为基质材料,将含铜介孔生物玻璃作为功能性成分,结合冷冻干燥技术,制备出含铜介孔生物活性玻璃/海藻酸钠复合抗菌骨组织工程支架,并从理化性能和生物学性能对复合支架进行综合评价,研究其在骨修复领域的应用前景,主要工作与结论如下:(1)含铜介孔生物活性玻璃的制备与表征。采用溶胶-凝胶法结合溶剂挥发自组装技术,制备出不同掺铜量的介孔生物活性玻璃xCu-MBG(x=0,2,5 mol%)。透射电镜和氮气等温吸脱附实验证明xCu-MBG具有排列规则有序、孔径分布均匀的柱状介孔结构,随着铜离子摩尔比的提高,生物玻璃的微观形貌未发生明显改变,仅发现介孔参数稍有下降;抗菌实验和SBF模拟体液浸泡实验证实5Cu-MBG具备良好的抗菌能力和生物活性。(2)海藻酸钠支架的制备与表征。结合超低温气动挤出沉积工艺与冷冻干燥技术,并辅以CaCl_2交联处理,制备出4、5和6w/v%的海藻酸钠支架。通过光学显微镜和扫描电镜观察发现,打印的支架不仅具有可控的宏观叁维结构,而且具备均匀且相互连通的微孔结构,孔隙率分布在80.4%~83.3%;海藻酸钠支架具有良好的溶胀性能,饱和质量溶胀比约为20~24倍;经CaCl_2交联后,不同质量分数的海藻酸钠支架的杨氏模量由0.32、0.42和0.47MPa提升到0.49、0.55和0.63MPa。(3)含铜介孔生物活性玻璃/海藻酸钠复合支架的制备与表征。基于超低温气动挤出沉积工艺结合冷冻干燥技术,制备出不同质量体积比的含铜介孔生物活性玻璃(0、1、1.5和2 w/v%)/海藻酸钠(5 w/v%)复合支架。随着生物玻璃含量的增加,复合支架微孔减少、纤维结构更加致密,孔隙率从81.8%递减至76.7%;溶胀率先升高再降低,且均高于纯海藻酸钠支架;杨氏模量由0.55 MPa提升到0.79、0.98和1.04MPa;体外矿化能力和抗菌性能逐步提升。细胞实验表明,掺有适量生物玻璃(1和1.5 w/v%)的复合支架对MC3T3-E1细胞的增殖有明显的促进作用,但过量的生物玻璃(2 w/v%)会导致培养基的碱化,抑制细胞活性。综合考虑,SA-CuMBG1.5支架既具有较好的溶胀性能、力学性能、体外矿化能力和抗菌性能,同时对细胞的增殖表现出明显的促进作用,是极具应用潜力的骨组织工程支架。(本文来源于《华中科技大学》期刊2019-05-01）
陈琛,董艳苹[2]（2019）在《化学气相沉积技术在中低温选择性还原脱硝催化剂和光电领域的应用》一文中研究指出化学气相沉积作为一种新型镀膜技术,已经发展出成熟的有极其优异的电、光、热、力、声学性能的材料制备工艺。而催化剂表面修饰以及太阳能电池材料表面修饰都是提升各自催化性能和光电转化效率的有效手段,因此将化学气相沉积作为催化剂和太阳能电池材料增材工艺是一个热点趋势。(本文来源于《广东化工》期刊2019年02期）
白秀琴,李健[3]（2006）在《磁控溅射TiN薄膜低温沉积技术及其摩擦学性能研究》一文中研究指出利用磁控溅射装置在高速钢基体上制备了TiN薄膜,研究了基体温度升高的原因及其磁控溅射的低温原理,讨论了低温与离子刻蚀、负偏压、磁场强度3个主要溅射工艺参数的关系,并对TiN薄膜的摩擦学性能进行了研究。实验结果表明,离子刻蚀、负偏压、磁场强度对低温磁控溅射TiN成膜过程具有较大的影响,所制备的TiN薄膜的耐磨性、配副适应性也较好。(本文来源于《润滑与密封》期刊2006年05期）
李社强,江南,王太宏[4]（2004）在《低温等离子体增强化学气相沉积技术制备碳纳米管》一文中研究指出由于等离子体在低温下具有高活性的特点 ,等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术可显着降低薄膜沉积的温度范围。通常条件下 ,高质量碳纳米管的生长要求 80 0℃以上的基片温度 ,若能使该温度降到4 0 0℃以下 ,则对许多应用非常有利 ,如可以在玻璃基片上沉积碳纳米管场发射电极。目前 ,碳纳米管基纳电子器件的研制这一课题备受关注 ,如果能实现低温原位制备碳纳米管 ,则可能将纳电子器件与传统的微电子加工工艺结合并实现超大容量的超大规模集成电路。本文主要介绍近年来生长碳纳米管所采用的各种等离子体化学气相沉积技术 ,讨论影响碳纳米管生长特性的几个关键因素(本文来源于《真空》期刊2004年04期）
汪六九,朱美芳,刘丰珍,刘金龙,韩一琴[5]（2003）在《热丝化学气相沉积技术低温制备多晶硅薄膜的结构与光电特性》一文中研究指出以金属W和Ta为热丝 ,采用热丝化学气相沉积 ,在 2 5 0℃玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜 .研究了热丝温度、沉积气压、热丝与衬底间距等沉积参数对硅薄膜结构和光电特性的影响 ,在优化条件下获得晶态比Xc>90 % ,暗电导率σd=10 - 7— 10 - 6 Ω- 1 cm- 1 ,激活能Ea=0 5eV ,光能隙Eopt≤ 1 3eV的多晶硅薄膜 .(本文来源于《物理学报》期刊2003年11期）
低温沉积技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
化学气相沉积作为一种新型镀膜技术,已经发展出成熟的有极其优异的电、光、热、力、声学性能的材料制备工艺。而催化剂表面修饰以及太阳能电池材料表面修饰都是提升各自催化性能和光电转化效率的有效手段,因此将化学气相沉积作为催化剂和太阳能电池材料增材工艺是一个热点趋势。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
低温沉积技术论文参考文献
[1].刘静.基于超低温挤出沉积技术的含铜介孔生物活性玻璃/海藻酸钠复合骨组织工程支架的研究[D].华中科技大学.2019
[2].陈琛,董艳苹.化学气相沉积技术在中低温选择性还原脱硝催化剂和光电领域的应用[J].广东化工.2019
[3].白秀琴,李健.磁控溅射TiN薄膜低温沉积技术及其摩擦学性能研究[J].润滑与密封.2006
[4].李社强,江南,王太宏.低温等离子体增强化学气相沉积技术制备碳纳米管[J].真空.2004
[5].汪六九,朱美芳,刘丰珍,刘金龙,韩一琴.热丝化学气相沉积技术低温制备多晶硅薄膜的结构与光电特性[J].物理学报.2003
论文知识图
