论文摘要
为了综合利用晶体硅金刚线切割废料,以其为原料,使用卧式氮化炉进行氮化反应,研究了氮化温度（1 300、1 350、1 400、1 450和1 500℃）、氮化保温时间（1、1. 5、2、2. 5和3 h）以及α-Si3N4外加量（外加质量分数分别为0、5%、10%、15%和20%）对氮化反应的影响。结果表明:在一定范围内,氮化温度的升高有利于α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O三种物相的生成;氮化时间的延长有利于α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O三种物相的生成,但氮化时间过长会导致α-Si3N4转变为β-Si3N4,以及Si2N2O转化为Si3N4;以α-Si3N4为添加剂,有利于α-Si3N4的生成以及氮化反应的进行。综合考虑切割废料的氮化程度,较优氮化条件为1 400℃保温3 h,α-Si3N4添加剂外加量10%（w）。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 孙钰杰,金星,邢鹏飞,董开朝,孔剑
关键词: 晶体硅,金刚线切割废料,氮化反应,氮化温度,氮化时间
来源: 耐火材料 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 东北大学冶金学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51334004,51074043)
分类号: TQ127.2
页码: 214-216
总页数: 3
文件大小: 857K
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