接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

论文摘要

针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150～150μm内探针扫描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式轮廓仪探针的故障检查和维修。

论文目录

• 0 引言
• 1 检查图形的设计
•   1.1 沾污和缺陷检查图形的设计
•   1.2 扫描位置检查图形的设计
• 2 检查图形的制作与应用
•   2.1 检查图形的制作
•   2.2 检查图形的应用
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 韩志国,李锁印,冯亚南,赵琳

关键词: 轮廓仪,探针沾污,探针缺陷,扫描位置,检查图形

来源: 微纳电子技术 2019年09期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所

分类号: TG83

DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.09.012

页码: 761-765

总页数: 5

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