全文摘要
本实用新型涉及一种用于湿法工艺的内部循环装置，包括：输入管道，其一端被配置为能够与物料输出管道连接，另一端通过三通管接头与回流管道和输出管道连接；回流管道，其一端通过三通管接头与输入管道连接，另一端被配置为能够与物料罐连接，其中在回流管道中布置有止回阀以用于防止物料在从物料罐到三通管接头的方向上流动；以及输出管道，其一端通过三通管接头与输入管道连接，另一端被配置为能够与湿法工艺设备连接。通过该装置，可以在出现气泡或其它异常情况时将物料回流到物料罐中，从而防止气泡对湿法工艺产生影响。
主设计要求
1.一种用于湿法工艺的内部循环装置，包括：输入管道，其一端被配置为能够与物料输出管道连接，另一端通过三通管接头与回流管道和输出管道连接；回流管道，其一端通过三通管接头与输入管道连接，另一端被配置为能够与物料罐连接，其中在回流管道中布置有止回阀以用于防止物料在从物料罐到三通管接头的方向上流动；以及输出管道，其一端通过三通管接头与输入管道连接，另一端被配置为能够与湿法工艺设备连接。
设计方案
1.一种用于湿法工艺的内部循环装置，包括：
输入管道，其一端被配置为能够与物料输出管道连接，另一端通过三通管接头与回流管道和输出管道连接；
回流管道，其一端通过三通管接头与输入管道连接，另一端被配置为能够与物料罐连接，其中在回流管道中布置有止回阀以用于防止物料在从物料罐到三通管接头的方向上流动；以及
输出管道，其一端通过三通管接头与输入管道连接，另一端被配置为能够与湿法工艺设备连接。
2.根据权利要求1所述的内部循环装置，其中输入管道通过管路连接头与物料输出管道连接；和\/或
其中回流管道通过管路连接头与物料罐连接；和\/或
其中输出管道通过管路连接头与湿法工艺设备连接。
3.根据权利要求1所述的内部循环装置，其中在回流管道中布置有调整阀以用于调节回流管道中的物料的流速。
4.根据权利要求1所述的内部循环装置，其中所述物料罐是动态直接注射DDI系统的DDI罐，并且所述物料输出管道是DDI系统的物料输出管道。
5.根据权利要求1所述的内部循环装置，其中所述湿法工艺设备是MPC工艺机台。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920673734.4
申请日:2019-05-10
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209571394U
授权时间:20191101
主分类号:H01L 21/67
专利分类号:H01L21/67;H01L21/306
范畴分类:38F;23E;
申请人:德淮半导体有限公司
第一申请人:德淮半导体有限公司
申请人地址:223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
发明人:丁洋;陈章晏;郑涛;颜超仁
第一发明人:丁洋
当前权利人:德淮半导体有限公司
代理人:李镝的
代理机构:31313
代理机构编号:上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计