腐蚀法测量研磨蓝宝石亚表面损伤的实验研究

论文摘要

化学腐蚀法是一种简单有效的蓝宝石亚表面损伤深度检测方法。利用高温熔融KOH对蓝宝石工件的化学腐蚀作用,开展W40固结磨料研磨后蓝宝石工件的化学腐蚀实验,设计耐高温陶瓷夹具固定腐蚀液中工件位置,并用称重法测算腐蚀速率和腐蚀厚度,揭示亚表面损伤的形成机理。结果表明:采用陶瓷夹具固定工件可使腐蚀面积的均匀性大大提高,平均腐蚀速率提高9. 21%左右。蓝宝石工件的腐蚀速率和腐蚀厚度逐渐减小,最后趋于稳定,其亚表面损伤深度约为8. 41μm。天平称重法可有效提高腐蚀速率和腐蚀厚度的测算精度,为蓝宝石亚表面损伤的有效测量提供帮助。

论文目录

• 1 引言
• 2 实验
•   2.1 实验原理
•   2.2 样品的制备
•   2.3 亚表面损伤检测
• 3 结果与讨论
•   3.1 腐蚀厚度和腐蚀速率的变化
•   3.2 表面腐蚀形貌变化
•   3.3 亚表面损伤产生及腐蚀机理
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 马睿,王建彬,周超群,童勇强,徐义亮

关键词: 化学腐蚀法,亚表面损伤,蓝宝石,固结磨料

来源: 人工晶体学报 2019年12期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学

单位: 安徽工程大学机械与汽车工程学院

基金: 安徽省自然科学基金(1708085QE127),安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyq ZD2019051),校国家基金预研项目(2017yyzr06),安徽工程大学2018年度中青年拔尖人才培养计划,南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金,安徽工程大学研究生教育创新基金

分类号: O786

DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.12.009

页码: 2216-2221+2227

总页数: 7

文件大小: 5506K

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