论文摘要
综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 沈峰,陈其国,潘维杰
关键词: 四氯化硅,三氯氢硅,多晶硅,冷氢化
来源: 中国氯碱 2019年09期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 江苏中能硅业科技发展有限公司
分类号: TQ127.2
页码: 18-21
总页数: 4
文件大小: 150K
下载量: 94
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