论文摘要
激光会聚铬原子沉积实验所需时间可长达几十分钟至几个小时,实验过程中要求激光频率的波动小于5MHz,感生荧光稳频技术能够解决原子沉积实验中激光频率漂移的问题。为了保证激光频率的长时间稳定性,对稳频系统的误差信号随激光功率及原子炉温度的变化情况进行了研究。结果显示,在光强为8mW,原子炉温度为1923K时,激光频率的长期漂移可抑制到最小,在200分钟内的频率波动仅有±0.6MHz。同时,重复实验的结果也表明稳频系统具有很好的稳定性,从而为原子沉积技术提供了保障,并提高了沉积实验的重复性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张彤,殷聪,赵跃进,钱进,王建波,石春英
关键词: 激光稳频,感生荧光,原子光刻
来源: 光学技术 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 物理学
单位: 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,中国计量科学研究院长度所长度量子实验室
分类号: O562
DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.001
页码: 257-262
总页数: 6
文件大小: 815K
下载量: 27
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